分析电子显微镜的构造及其功能.ppt

二、成像板 用于电子显微镜的成像板（imaging plate）与最初开发用于X射线的成像板是一样的。它是在塑料片基上涂上掺Eu2+荧光物质的二维记录材料。当电子束照射到光激励隐像显现性物质上将形成电子-空穴对。电子被荧光体的缺陷部位（阴离子的空格点）捕获，而空位被Eu2+捕获。如果将激光束照射到这种光激励隐像显现性荧光体上，被捕获的电子就被释放在导带中，与空位再结合后发出光。这种光被光电倍增管转变成放大的电信号，最后再生图像。图像的数据被读取后，当成像板遇到强可见光时，残余的电子-空穴对几乎完全消除，由此成像板可以反复使用。 1.2.4 图像观察与记录系统 图1.14 成像板记录图像和再生的原理 1.2.4 图像观察与记录系统 表1.3 成像板和慢扫描CCD摄像机的性能比较 1.2.4 图像观察与记录系统 像素尺寸 像素数目 动态范围 特 征 使用时的注意事项 成像板 25μm×25μm (50μm×50μm) 3 000×3 760 (2 048×1 536) 4~5个 数量级 和底片一样可以装在各种电子显微镜中 有衰减特性 慢扫描 CCD 24μm×24μm 1 024×1 024 (2 048×2 048) 4个 数量级 可在几秒钟内采集图像 电子射线饱和时，图像上出现人为的假象 注：关于像素尺寸和像素数目，列出的是有代表性的通用的系统，其他型号的值作为参考列于括号中。 1.2 构造及其特性 1.2.5 真空和供电系统 真空系统是为了保证电子的稳定发射和在镜筒内整个狭长的通道中不与空气分子碰撞而改变电子原有的轨迹，同时为了保证高压稳定度和防止样品污染，不同的电子枪要求有不同的真空度。 供电系统主要提供稳定的加速电压和电磁透镜电流。为了有效地减少色差，一般要求加速电压稳定在每分钟为10-6；物镜是决定显微镜分辨本领的关键，对物镜电流稳定度要求更高，一般为(1～2)×10-6/min，对中间镜和投影镜电流稳定度要求可比物镜低，约为5×10-6/min。 1.2 构造及其特性 1.2.6 仪器的计算机控制和分析数据的计算机处理 现代的高性能电子显微镜都实现计算机（CPU）的控制。例如，各透镜系统的电流值等都可以存储在计算机中，由此可以建立专家系统，使透镜系统很容易实现最佳条件。利用计算机还能实现自动聚焦和消像散以及照相等一系列操作。图1.15给出了分析电子显微镜和它的各种附属装置的框架图。 图1.15 分析电子显微镜和它的各种附属装置的框图 1.3 成像、变倍和衍射实现的原理 当电磁透镜的物距、像距、焦距分别为L1，L2，?，三者之间的关系以及放大倍率M均与玻璃薄透镜相同： 1/L1+1/L2=1/ ? (1.14) M=L2/L1 (1.15) 将(1.14)和(1.15)分别整理得到 M＝?/(L1－?) (1.16) M＝(L2－?)/ ? (1.17) 电磁透镜在成像时与玻璃透镜不同，成像电子在透镜磁场中将产生旋转，导致一个附加的磁转角Ф。因此，电磁透镜成像时，物与像的相对位向对于实像来说为180°±Ф，因为成像是倒置的，故为180°；对于虚像来说为±Ф。 1.3 成像、变倍和衍射实现的原理 图1.16 三透镜成像原理图 1.3 成像、变倍和衍射实现的原理 在透射电子显微镜中，物镜、中间镜、投影镜是以积木方式成像，即上一透镜（如物镜）的像就是下一透镜（如中间镜）成像时的物，也就是说，上一透镜的像平面就是下一透镜的物平面，这样才能保证经过连续放大的最终像是一个清晰的像。 在这种成像方式中，如果电子显微镜是三级成像，那么总的放大倍率就是各个透镜倍率的乘积。