氧化锌点缺陷发光机理的研究进展.pdf

第 l3卷 第 6期 重庆科技学院学报 (自然科学版) 2011年 l2月 氧化锌点缺陷发光机理的研究进展 邓 泉 张学忠 (重庆师范大学，重庆 400047) 摘 要 ：综述氧化锌点缺陷发光机理的研究进展 。由于纯氧化锌发光归因于本征点缺陷，理论计算方法可以得到几 种本征点缺陷对应的缺陷能级 ，通过掺杂不同元素和改变氧分压、溅射功率、衬底温度和退火温度等制备条件 ，观察 氧化锌薄膜光致发光 的变化 ，进而推测氧化锌薄膜发光机理 ，得到 了不同的机理解释。 关键词 ：氧化锌 ；点缺 陷；光致发光 中图分类号 ：TN304 文献标识码 ：A 文章编号 ：1673—1980(2011)06—01l7—04 氧化锌是 Ⅱ一Ⅵ族直接宽带隙氧化物半导体材 级之间的跃迁能量，得到相应的可见光波长，进而揭示 料 。呈六角纤锌矿结构。其晶格常数 6=0．3246nm， 氧化锌和掺杂氧化锌可见光的发光机理。 c=0．5203nm，禁带宽度为 3．37eV，且激子束缚能高 4 达 60meV。理论上在室温下即能实现紫外受激辐 3 射 。氧化锌是继第三代半导体材料 GaN之后 ，又一 1 2 发光半导体器件的候选材料 。其优异的光电特性 ，在 l 蓝／紫外发光二极管…、紫外探测器 2[1和太 阳能电池 章 兽 _3等光电子领域具有广泛的应用前景。探索氧化锌 0 的发光机理 ，使其能发出满足不同需要 的单色发光 0 2 4 6 8 峰。如人们根据绿光 的发光特性 。使其作为绿光荧 图 1ZnO薄膜的光致发光机理 光材料应用于平面显示领域 ：而蓝紫光的发光特性 ， 在实验 中，研究者们对可见光的发光机理 的解 可 以作为蓝紫光发射器件 释有所不同且分歧较大 (表 1)。 1 氧化锌的点缺陷发光机理的研究进展 表 1 关于氧化锌可见光发光机理 的解释 氧化锌是二元化合物半导体 ，其晶格中可能产 生 的本征点缺陷有 6种 ：氧空位 V叭锌空位 V 反 位氧 O 反位锌 Zn 氧填隙O 以及锌填隙zni。从 能级角度分类 ，点缺陷可分为浅能级缺陷和深能级 缺 陷，其 中深能级对氧化锌 的光学性质影响较大。 研究认为 ，位于 465～520nm的蓝一绿可见发光带主 要是氧化锌的深能级缺陷引起 的。 Xu等 人利用全势线性多重轨道 (FP—LMTO) 的方法计算了氧化锌的缺陷能级 ，不同的深能级缺陷 对应于不同的激发能(如图 1所示)。根据不同缺陷能 收稿 日期 ：2011-07—10 基金项 目：重庆市教委科技项 目(KJ070804) 作者简介 ：邓泉 (1986～)，男，陕西安康人 ，重庆师范大学物理学与电子_T程学院在读硕士研究生 ，研究方 向为信息材料物理及 器件 。 · 117· 万方数据 邓泉，张学忠：氧化锌点缺陷发光机理的研究进展 目前，研究比较多的是氧化锌薄膜的发光特点，