等离子刻蚀机1紧凑的台式设备可调节的RF功率符合CE安全.doc

等离子刻蚀机 1、紧凑的台式设备、可调节的RF 功率、符合CE 安全标准。 2、清洗舱：长6.5 (165mm)英寸，直径6 (152mm)英寸； 3、常用工作气体：空气、氧气、氩气、氮气或混合气体等 4、1/8 英寸标准锥管螺纹针型阀控制气流和腔体压力 5、1/8 英寸标准锥管螺纹三通阀便于气体混合，隔离舱体和排气的快速切换 6、整机尺寸：11H x 18W x 9D（279mm x 457mm x 228mm） 档位功率设置：输入功率200W *7、功率为低、中、高档可调，应用射频线圈，产生的等离子功率对应表： 低档功率范围：电压716V DC 电流10 mA DC工作功率 7.16W 中档功率范围：电压720V DC电流15 mA DC工作功率10.15W 高档功率范围：电压740V DC电流40 mA DC工作功率29.6W 8、真空托盘 石英材质托盘，调整待处理样品的放置高度，确保处理的等离子浓度与均匀度均达到最佳。 9、需配置采购高级无油真空泵系统 支持各类活性气体的等离子体清洗处理；附带软管、软管箍、进气道适配器，定心环和摆动钳等连接套件。 10、气体流量混合器 各路气体和混合气体流量的精准控制，舱内压力的实时监控，可支持两路气体输入 技术规格? 1、等离子清洗机主机 ★1.1台式设备、功率为低、中、高档可调，符合CE 安全标准。 1.2 腔体材质：圆柱形派热克斯玻璃舱；? ★1.3 腔体尺寸：长6.5 (165mm)英寸，直径6 (152mm)英寸；? 1.4 腔体容积：3升； 1.5 应用最大到30W 的射频线圈；? 1.6 1/8 英寸标准锥管螺纹针型阀控制气流和腔体压力；? 1.7 1/8 英寸标准锥管螺纹三通阀便于气体混合，隔离舱体和排气的快速切换；? 1.8 档位功率设置：输入功率200W；? 1.9 应用射频线圈，产生的等离子功率对应表：? 1）低档功率范围：电压716V DC 电流10 mA DC工作功率7.16W? 2）中档功率范围：电压720V DC电流15 mA DC工作功率10.15W? 3）高档功率范围：电压740V DC电流40 mA DC工作功率29.6W ★2.、真空油泵Vacuum Pump? 2.1 峰值抽速：(60 Hz)5.1 m3/h ★3、气体流量混合控制器 3.1 气体和混合气体流量的精准控制，舱内压力的实时监控，可支持两路气体输入处理样品。4.、HQT-1扩展型样品托盘 Vacuum Tray? 4.1 石英材质托盘，调整待处理样品的放置高度，确保处理的等离子浓度与均匀度均达到最佳。? 5、原装进口针型阀三通阀套装 6、RF测试荧光灯管 差示扫描量热仪技术规格 设备名称：差示扫描量热仪 二、用途：在程序温度控制下，测量样品的吸放热与温度（或时间）的函数关系，表征材料相变过程的特征温度及热焓。 三、交货期：合同签订后三个月 四、技术指标和参数： ★1.1．温度范围: -170~600?C ★1.2．制冷方式：双制冷系统，液氮制冷和机械制冷同时安装，使用时无需插拔，只需软件切换 ★1.3．升/降温速率：0.001～500℃/min ★ 1.4．温度准确度:0.1?C（标准金属） ★1.5．热焓准确度：±0.5%（标准金属 1.6．）温度重复性：±0.01℃ 1.7．热焓重复性：±0.1% 1.8．灵敏度：0.1μw 1.9．测量范围：±750mW 1.10．基线漂移：±10μw（-50℃～300℃） 1.11．温度/热焓校正： 多点标样，非线性校正技术 1.12．气流控制：内置式3路质量流量计，软件自动切换 1.13．自由转换的中英文智能控制/分析软件，支持Win 10。 1.14．附件 1）校准标样: 1套用于标定热焓和温度(含6个标样, 全量程) 2）液氮制冷系统 3）机械制冷系统 4）配备concavus铝坩埚 五、技术服务要求 5.1 供应商必须提供仪器的现场安装调试并达到投标书指标要求的技术性能，并同时在现场对用户进行操作培训。 5.2仪器在调试验收合格后，提供壹年免费保修服务，在保修期内，所有服务及配件全部免费，保修期外，仪器终身维修。 5.3供应商在中国应设有保税库，保证能更及时地为用户提供备品备件。 *5.4供应商在国内必须设有分析仪器培训，免费为用户提供仪器的基本原理、操作、日常维护及基础分析仪器理论课程，并为用户不少于两人的国内免费培训。 *5.5供应商提供为用户提供免费的电话咨询及技术服务。 六、售后服务 6.1投标方应具有可靠的供货实力，在中国境内有维修站，并具有高素质的专业维修队伍。 6.2在接到用户维修请求后，应能在24小时内作出快速响应，并在72小时内到达现场。 6.3 仪