磁控溅射Ca1-xLaxB6薄膜的制备工艺及磁学性能研究.docx

山东大学硕士学位论文目录 山东大学硕士学位论文 目录 摘要 ．．I Abstract ．Il 第一章绪论 1 1．1 CaB6的结构、性质及应用 1 1．1．1 CaB6的晶体结构 ．1 1．1．2 CaB6的电子结构 ．2 1．1．3 CaB6的性质及应用 ．2 1．1．4 CaB6的磁学性能 ．4 1．2硼化物纳米薄膜常用制备方法 ．5 1．2．1化学气相沉积法 ．．5 1．2．2脉冲激光沉积法 ．．6 1．2．3真空蒸发法 一6 1．2．4电子束蒸发法 ～7 1．2．5磁控溅射法 一7 1．3磁控溅射薄膜生长机制 ．．8 1．3．1薄膜生长模型 一8 1．3．2影响薄膜生长的主要因素 ．．9 1．4 Cal．。La。B6材料的研究现状 ．10 1．4．1 Cal-xLa。B6粉末材料的研究进展 。10 1．4．2 Cal．。La。B6块体材料研究进展 ．．1 0 1．4．3 Cal．xLa。B6单晶材料研究进展 。1 l 1．4．4 Cal。La。B6薄膜材料研究进展 一12 1．4．5 Cal．。LaxB6材料理论计算研究进展 ．．13 1．5选题意义及研究内容 14 第二章实验方案及研究方法 1 7 2．1技术路线及研究方案 17 万方数据 目录2．2实验用原材料 目录 2．2实验用原材料 18 2．2．1靶材烧结原材料 18 2．2．2基底材料 1 8 2．3溅射用靶材的制备 18 2．4 Cal．。LaxB6薄膜的制各 ．19 2．5 Cal．。La。B6薄膜组织结构及性能表征 ．21 2．5．1薄膜结构表征 21 2．5．2薄膜表面形貌表征 22 2．5．3薄膜成分分析 23 2．5．4薄膜分子结构分析 24 2．5．5薄膜磁学性能分析 25 第三章CaB6薄膜的制各工艺研究 ～27 3．1靶材制备方法对CaB6薄膜生长的影响 27 3．2氩气气压对CaB6薄膜生长的影响 29 3．2．1氩气气压对薄膜内部晶体结构的影响 29 3．2．2氩气气压对薄膜形貌的影响 31 3．2．3氩气气压对薄膜分子结构的影响 33 3．2．4氩气气压对薄膜化学成分的影响 34 3．3溅射功率对CaB6薄膜生长的影响 35 3．3．1溅射功率对薄膜内部晶体结构的影响 35 3．3．2溅射功率对薄膜形貌的影响 36 3_3．3溅射功率对薄膜分子结构的影响 38 3．4基片偏压对CaB6薄膜生长的影响 39 3．4．1基片偏压对薄膜内部晶体结构的影响 39 3．4．2基片偏压对薄膜形貌的影响 40 3．4．3基片偏压对薄膜分子结构的影响 4l 3．5磁控溅射CaB6薄膜的生长演变 42 3．5．1薄膜XRD图谱分析 ．43 3．5．2薄膜精细结构表征 45 3．5．3薄膜表面形貌分析 45 万方数据 山东大学硕士学位论文3．5．4薄膜生长机理分析 山东大学硕士学位论文 3．5．4薄膜生长机理分析 50 3．6本章小结 5l 第四章Cal-xLa。B6薄膜的生长研究 ．53 4．1 La掺杂量对Cal．xLa。B6薄膜生长的影响 53 4．1．1 Cal．。La。B6薄膜表面形貌分析 ．．54 4．1．2 Cal．。LaxB6薄膜表面粗糙度分析 56 4．1．3 Cal．。LaxB6薄膜厚度分析 ．．59 4．1．4 Cal．。LaxB6薄膜表面高度分析 ．．60 4．2 La掺杂量对Cal_xLa,,B6薄膜表面化学成分的影响 6l 4．2．1 Cal．；LaxB6薄膜XPS全谱分析 ．6l 4．2．2薄膜ca、La、B元素特征谱分析 一62 4．2．3 Cal．。LaxB6薄膜表面Ca、La、B元素含量分析 ．63 4．3 La掺杂量对Cal．。LaxB6薄膜分子结构的影响 65 4．4本章小结 69 第五章Cal．xLa。B6薄膜磁学性能研究 ．71 5．1 La掺杂量对Cal．xLa。B6薄膜磁学性能的影响 72 5．2薄膜厚度对cal．。La。B6薄膜磁学性能的影响 75 5．3溅射气压对CaB6薄膜磁学性能的影响 79 5．4样品类型对CaB6材料磁学性能的影响 ．80 5．5本章小结 81 第六章结论 83 参考文献 ．．85 致j射 93 附蜀乇 95 万方数据 目录CONTENTS 目录 CONTENTS Abstract(In Chinese) ．． ．．．． I Abstract(In English)． ． ．． ． ． ．．．． ．．．．．．．．．．．．．．．． ． ．． ．． ．． ． ．．．．．．．．． ．II Chapter 1 Intruction．． ．． ． ．． ．． ． ．． ．．．．．．．．．．．．． ．