YJZY-CZ-17A0_刻蚀返工作业指导书.docVIP

PAGE SHAPE 江苏永江新能源科技有限公司 Jiangsu Yongjiang New Resource ScienceTechnology Co.Ltd. ■Q □E □S 文件编号：YJ/ZY-CZ-18 文件名称 刻蚀返工作业指导书 校订版别： A/0 页次/总页次： PAGE 2 / 3 1.目的： 　　 控制不合格品的标识，记录，评价，隔离和处置，防止不合格品被误取误用，确保公司产品质量；同时规范各个相关部门及人员的职责，以免出现控制盲点。 　 2.范围： 　　 适用于本公司所有被判定为不合格之原材料零件，半成品及成品。 　 3.定义： 　　 不合格品： 指没有达到公司质量规格要求的原料，半成品及成品。 　4.作业流程说明： 流程 责任单位 参考文件 窗体 不合格品记录 不合格品记录 各权责单位 来料检验控制程序 巡检管理程序 成品与出货检查控制程序 各记录表 识别. 识别.隔离 各权责单位 产品标识与可追溯性控制程序 “红色”不合格票 通 通 知 品管课 相关单位 1.来料检查控制程序 2.巡检管理程序 3.出货检查控制程序 各检验记录表 检 检 讨 各权责单位 检验基准 不合格品控制程序 各检验记录表 处 处 置 各权责单位 1. 质量管理体系改进控制程序 检 检 验 品管课 1.来料检查控制程序 2. 巡检管理程序 3.出货检查控制程序 各检验记录表 　6.作业说明: 　　6.1不合格品记录: 　　所有零件、半成品、成品有不符合规定,规格要求,均须记录不良原因,并应立即采取下列步骤. 6.2识别,隔离:厂区各部门得规划不合格品区域. 6.2.1零件: 　　　 QC-001A 1. 目的 （Purpose） 2. 范围 （Scope） 3. 定义 （Definition） 4. 职责 （Responsibility） 5. 作业内容 （Operation procedure） 6. 参考文件 (Reference Document) 7. 附件 (Attachment ) 修订日期 版本 修订说明 2011-08-19 A/0 首次拟定 修订部门 编 制 审 核 核 准 技术部 陈小巍 目的 将刻蚀工序不符合工艺控制要求的硅片进行返工。 范围 本文件适用于多晶156×156刻蚀。 定义 职责 1.所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作。 2.在操作过程中遇到问题应及时向技术人员反映，技术人员及时提供帮助。 作业内容 5.1 上料硅片表面有手指印等色斑 5.1.1参照扩散后硅片色斑返工流程进行操作 5.2 槽体中叠片 5.2.1穿好防护服，戴好防毒面具，戴好双层防酸乳胶手套将叠在一起的硅片 从槽体中取出放置在专用叠片周转箱； 5.2.2 将5#碱槽槽盖打开，将硅片放在5#碱槽滚轮上进行碱洗--水洗--酸洗 —水洗--吹干--下料用吸笔将硅片吸取放置在返工片盒送至制绒间； 5.2.3 工序长将制绒机带速调整为1.5m/min，制绒槽温度改为0.5度； 5.2.4 员工按照制绒岗位标准作业指导书操作； 5.2.5返工片结束后工序长将制绒机带速恢复至原始带速，制绒槽温度恢复至 原温度。 5.3 下料叠片 5.3.1戴好双层防酸乳胶手套，将叠在一起的硅片和叠片后的10片从下料取出 放置在专用叠片周转箱；同时立即用气枪将下料滚轮吹干或者用无尘布将 该道滚轮擦干，避免后续片子沾水; 5.3.2穿好防护服，戴好防毒面具和双层防酸乳胶手套，将5#碱槽槽盖打开，将硅片放在5#碱槽滚轮上进行碱洗水洗酸洗水洗吹干下料用吸笔将硅片吸取放置在返工片盒送至制绒间； 5.3.3工序长将制绒机带速调整为1.5m/min，制绒槽温度改为0.5度； 5.3.4员工按照制绒岗位标准作业指导书操作； 5.3.5返工片结束后工序长将制绒机带速恢复至原始带速，制绒槽温度恢复至原温度。 5.4下料未吹干 5.4.1 戴好防酸乳胶手套，将未吹干的硅片和后10片取出放置在返工片盒，用 气枪将下料滚轮吹干或者用无尘布将该道滚轮擦干，避免后续片子沾水； 5.4.2穿好防护服，戴好防毒面具和乳胶手套，把8#水槽槽盖打开，将硅片放 置在水槽滚轮上进行水洗吹干，正常流入PECVD。 5.5减薄量小或者方块电阻提升大 5.5.1 重新制绒，参照制绒减薄量小返工流程进行操作。 5.6 下料硅片表面有边缘