新型磁性材料辅助光学抛光技术的研究.PDFVIP

第 卷 中 国 激 光 光学前沿———光电技术 ３８ 　 　 　 年 月 专 刊 ２０１１ １２ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犔犃犛犈犚犛 　　 新型磁性材料辅助光学抛光技术的研究 邓伟杰 张 峰 李锐钢 　 　 　 （中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室，吉林 长春 １３００３１） 摘要 提出了一种新型的磁介质辅助抛光技术，用于高精度光学表面的数控抛光。在强磁场的作用下，磁介质吸 　 附在磁轮上并沿着磁力线方向排列起来，形成环状凸起 “磁性抛光刷”。磁轮高速旋转时，循环注入抛光液，对工件 表面实现材料去除。完成了磁介质辅助抛光工具设计、制造，以及