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第四讲真空检漏 孚日光伏项目组 提 纲 真空检漏技术简介 真空检漏方法 真空检漏设备 提 纲 真空检漏技术简介 真空检漏方法 真空检漏设备 真空检漏技术简介 真空检漏：检测真空系统的漏气部位及其大小的过程 漏气：气体通过真空系统上的漏孔或间隙，从高压测流向低压侧的一种现象。 漏气是不可避免的，绝对不漏是不可能的，不漏是相对的 漏率的定义：单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器内的气体量。单位是Pa·m3/S或Pa·L/S 检漏相关的概念： 最大允许漏率： 最小可检漏率：某方法所能检出的漏率的最小值 虚漏：材料的放气、解吸等引起真空系统或容器内压力升高 的现象 反应时间:开始检漏到上升到最大值的63%所需的时间 消除时间：检漏方法停止到指示方法或仪器指示值下降到停止值的37%所需要的时间。 真空检漏技术简介 系统达不到所需真空度的可能原因： 真空泵是否工作良好？ 系统内是否存在严重放气？ 系统容器壁或间隙处是否漏气？ 是否漏气与放气现象共存？ 易漏气部位： 可动部分：传动轴的密封部分 易损部分，如玻璃或陶瓷 波纹管 利用法兰和垫圈的密封部分 焊接处 提 纲 真空检漏技术简介 真空检漏方法 真空检漏设备 真空检漏方法 静态升压法 辅助真空罩法 压力平衡法 气泡检漏法 水槽检漏法 皂膜法 氨气检漏法 真空检漏方法 真空计检漏法 热传导真空计法 电离真空计法 差动真空计法 离子泵检漏法 氢-钯检漏法 荧光检漏法 放射性同位素检漏法 慢性漏气加速检漏方法 提 纲 真空检漏技术简介 真空检漏方法 真空检漏设备 提 纲 真空检漏技术简介 真空检漏方法 真空检漏设备 氦质谱检漏仪 卤素检漏仪 高频火花检漏器 提 纲 真空检漏技术简介 真空检漏方法 真空检漏设备 氦质谱检漏仪 卤素检漏仪 高频火花检漏器 1 氦质谱检漏仪Helium mass spectrometer leak detector 工作原理：采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不同种类气体分子质荷比不同的特点，利用磁偏转分离原理将其区分开来，利用离子收集板收集离子。 示漏气体为He 1 氦质谱检漏仪Helium mass spectrometer leak detector 检漏仪的结构 1 氦质谱检漏仪Helium mass spectrometer leak detector 1 氦质谱检漏仪Helium mass spectrometer leak detector 标准大气的成分 1 氦质谱检漏仪Helium mass spectrometer leak detector He作为示漏气体的优点： He在空气及残余气体中含量最少，空气中He只占二十万分之一。 材料出气中He很少，检漏时本底信号小。 He质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，响应快，检漏灵敏度高 He又是一种惰性气体，无毒，使用安全。 He作为示漏气体的缺点： 橡胶、塑料等有机材料会吸收He，而且吸收后还会慢慢的释放。 离子收集板对He有记忆效应，即He离子打到离子收集板上，并存储一段时间，再慢慢释放出来，造成本底的噪音。 1 氦质谱检漏仪Helium mass spectrometer leak detector 氦质谱检漏仪的使用方法 喷吹法 充压法 背压检漏法 吸嘴法 累积法 1 氦质谱检漏仪Helium mass spectrometer leak detector 氦质谱检漏仪的使用方法: 喷吹法 1 氦质谱检漏仪Helium mass spectrometer leak detector 喷吹法注意事项： He轻，检漏时从上方检漏开始 如果检漏位置相近，应注意He气流的方向 检出的漏孔应复查 检漏场所应具有良好的通风，但不影响He的流向 1 氦质谱检漏仪Helium mass spectrometer leak detector 背压检漏法 背压检漏法 背压检漏法的注意事项： 为调灵敏度，应提高充气压力、加长充压时间、缩短净化时间 适用于体积较小的被检件的检漏 不适用于有大漏孔的被检件。 吸嘴法 吸嘴法检漏 吸嘴法检漏注意点： 检漏灵敏度与充气的He分压成正比关系 吸嘴与被检件表面距离不大于1mm，吸嘴移动速度不大于2cm/s 充气压力不能损坏被检件 检漏完毕，回收He 累积法 提 纲 真空检漏技术简介 真空检漏方法 真空检漏设备 氦质谱检漏仪 卤素检漏仪 高频火花检漏器 卤素检漏仪Halogen leak detector 卤素检漏仪：以卤素作为示漏气体的检漏仪器 原理：金属Pt在800℃以上时，其表面吸附或入射表面的气体分子会被剥夺电子，而以正离子的形态飞离表面，遇到