第04讲 之2—补充 电容式传感器.ppt

补充：电容式传感器 1.1 变面积式电容器 不考虑边缘效应，可得表达式(2) 直线位移型（图2） 由式（2）可推得（3）及（4） 由式（4）得到一个结论： 增加ε和b及减小d可以提高灵敏度 派生型 1.2 变间隙式电容器 基本型 图4为变间隙式电容传感器 可见ΔC/Co同x之间是近似线性关系，一般应用中，x不超过d的十分之一。 可得： 差动型 优点： 灵敏度提高一倍 线性度有提高 经分析可得近似表达式如下： 1.3 变介电常数式电容器 图6 为变介电常数式电容传感器 根据电容串并联有： 电容量同x之间是线性关系。 其中： 其中： 时的电容值 位移传感器 是极板间无 2. 电容式传感器的性能 优点: 温度稳定性好 需要的动作能量低 动态相应快（工作频率高） 可获得较大的相对变化量 结构简单，可在恶劣环境下工作 可以实现非接触测量 缺点: 输出特性为非线性 泄露电容影响大 高输出阻抗，带负载能力差 3. 电容式传感器的测量电路 3.1 普通交流电桥（图7） 这种电桥测量电路要求提供幅度和频率很稳定的交流电源。 频率为被测信号频率的5～10倍以上。 交流放大器要有足够高的输入阻抗。 根据负反馈放大器的增益公式可以推得： 3.2 运算放大器式测量电路（图8） 以 代入上式可得： 一大优点： 输出同间隙（位移）成线性关系。 适宜用作变间隙式传感器。 4. 电容式传感器的应用 4.1 电缆偏心测量（图9） 4.2 电容式位移传感器（图10） 4.3 电容式压力传感器（图11） 4.4 电容式加速度传感器（图12） Thank you!