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低温等离子体对废气的处理 一、低温等离子体废气处理技术简介 二、低温等离子体处理废气几个方面 三、低温等离子体技术的优势 四、低温等离子体的应用研究方向 低温等离子体废气处理技术简介 低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。 低温等离子体降解污染物是利用其本身含有的电子、离子、活性基和激发态分子等有极高化学活性的粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应使常规方法难以去除 的污染物得 以转化或分解以达到降解污染物的目的。 低温等离子体化学净化是利用数万度的高能电子 与气体分子 ( 原子)发生非弹性碰撞，将能量转换成 基态分子 ( 原子)的内能，发生激发、离解、电离等 一系列过程使气体处于活化状态。电子能量较低 ( 1 0 e V)时，产生活性自由基，活化后的污染物分子经 过等离子体定向链化学反应后被脱除。当电子平均能 量超过污染物分子化 学键结合能时 ，分子 键断裂 ，污 染物分解。 在低温等离子体中，可能发生各种类型的 化学反应 ，主要取决于电子的平均能量、电子密度 、 气体温度、污染物气体分子浓度及共存的气体成份。 低