第三章 真空技术基础与等离子体.ppt

《表面工程理论与技术》讲义－张国君 第3章 真空技术基础与等离子体 第3章(1) 真空技术基础Elements of vacuum technology 真空的定义 真空：密闭容器内低于一个大气压的空间（1.01×105Pa） 绝对真空永远无法达到 气体状态方程： P = n k T 体积分子数：n=7.2×1022P / T 20?C时，若 P=1.33 × 10-4 Pa 则n=3.2 ×1010 个/cm3 真空的表示：真空度——气体的压强 (Pa) 平均自由程：气体分子之间相邻两次碰撞的平均距离 真空在气相沉积中的作用： 防止氧化、污染；减少蒸发原子与残余气体分子的碰撞，抑制它们之间的反应；绝热保温 碰撞分子百分数： 真空的获得 产生真空的过程——抽气；工具——真空泵 单位时间抽出的气体体积——抽气速率 真空泵工作足够时间后所达到的最低气压 ——极限真空 不同类型的真空泵有特定的工作范围，通常需要两级联合才能达到高真空以上。从大气开始的叫“前级泵”，从低气压开始工作的叫“次级泵”。 旋片式机械真空泵（机械泵） 旋片式机械真空泵（机械泵） 油扩散泵（扩散泵） 涡轮分子泵（分子泵） 低温吸附泵（低温泵） 几种常用真空泵的工作气压范围 真空的测量 测量真空的工具——真空计和真空规管 直接法：绝对真空计，准确但不适合高真空 间接法：相绝对真空计，