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扫描电子显微技术 SEM简介扫描电子显微镜（scanning electron microscope，SEM）,SEM是利用细聚焦电子束在样品表面逐点扫描，与样品相互作用产生各种物理信号，这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号，最后在荧光屏上显示反映样品表面各种特征的图像。最常用来观察样品表面行貌（断口等）。它有如下优点： 1.高的分辨率 2.有较高的放大倍数 3.有很大的景深 4.试样制备简单 5.配有X射线能谱仪装置 舌头上的味蕾 金颗粒样品场发射扫描照片 分叉头发的扫描图 1. SEM 基本原理 最上边电子枪发射出来的电子束，经栅极聚焦后，在加速电压作用下，经过二至三个电磁透镜所组成的电子光学系统，电子束会聚成一个细的电子束聚焦在样品表面。在末级透镜上边装有扫描线圈，在它的作用下使电子束在样品表面扫描。 　　由于高能电子束与样品物质的交互作用，结果产生了各种信息：二次电子、背散射电子、X射线、俄歇电子和透射电子等。这些信号被相应的接收器接收，经放大后送到显像管的栅极上，调制显像管的亮度。经过扫描线圈上的电流是与显像管相应的亮度一一对应。 3.电子枪 3.1 热发射 电子枪提供一个稳定的电子源，以形成电子束。通常依靠所谓