原创力文档OM SEM Comparison Pictures of SEM Pictures of SEM 电子显微镜的分类 工作模式： 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 分析功能 普通型 分析型 应用范围 生物样品用电镜 材料科学用电镜 电子枪亮度 单位面积单位立体角的电流密度 场离子发射（FEG）107 – 109 热场 和冷场 六硼化镧LaB6 106 钨灯丝 105 电子枪总束流 钨灯丝 – 最大 六硼化镧LaB6 中间 场离子发射 – 最小 电子束-样品交互作用区 同一样品, 不同能量电子束 不同样品, 同一能量电子束 样品面倾斜效应- 边缘效应 X-射线的空间分辨率 信号的方向性 SE 信号 – 非直线传播 通过探头前加有正电压的金属网来吸引 BSE 信号 – 直线发散传播 探头需覆盖面积大 X-射线信号 –直线发散传播 样品中出来的信号电子的能量和强度 样品电流平衡 消除荷电效应 镀层 快速扫描 较低的加速电压 较小的束斑 SEM样品室 SE 与 BSE 成象 X-射线信号的产生 物质受到高能粒子轰击所发出的波长为10-5~100? 的电磁辐射称为X-ray。 X-ray的强度 单位时间内通过某一面积的X-ray光子的数量 连续X-ray与特征X-ray 连续X-ray：束电子与原子的原子核库仑电场相互作用， 受到库仑电场制动，逐渐减速，
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