全板电镀流程操作手册柏宇说明书.docVIP

全板电镀流程 操作手册 2008年3月 目录 1. 柏宇专利化学品名称与储存要求 ................................3 2．全板电镀线配槽步骤...........................................4 2.1 新配槽的清洁处理方法..................................4 2.2 配槽简表..............................................4 2.3 配槽步骤..............................................5 3. 全板电镀线设备要求...........................................5 4. 药液生产控制范围.............................................6 5. 药液补充量及槽液寿命.........................................6 6. 生产线保养事项...............................................6 6.1 定期保养..............................................6 6.2 碳处理和阳极铜球处理..................................8 7. 药品分析方法.................................................9 8. 工艺问题处理简表.............................................11 9. 基本化学药品名称和规.........................................16 10.产品说明书...................................................16 1．基本化学药品名称及规格 1．1 所需基本化学药品规格 2.2.1 硫酸(化学纯) H2SO4浓度 98%重量比 密度g/cm3 1.835 - 1.945 氯 max. 0.5 ppm 铁 max. 5.0 ppm 2.2.2 盐酸(化学纯) 含有HCl 37.5% 密度g/cm3 1.16 - 1.20 重金属 max. 1 ppm 2.2.3 硫酸铜(化学纯) CuSO4.5H2O成份 min. 98%重量比 氯 max. 0.02%重量比 1.2 含磷铜阳极规格 含磷铜阳极 Cu 99.9%，不含Cu2O P 0.04 - 0.06% Pb max. 0.001% Bi max. 0.002% AS max. 0.003% Sb max. 0.003% Sn max. 0.003% Zn max. 0.001% Fe max. 0.003% Ni max. 0.008% Se max. 0.001% S max. 0.01% 2. 全板电镀线配槽步骤 2.1 新药槽的清洁处理方法 2.1.1 1).用5% NaOH溶液浸缸，同时开启过滤泵/循环泵4 - 8小时后排放碱。 2).再用清水冲洗用2%(v/v)硫酸溶液浸缸及同时开启过滤泵/循环泵4 - 8小时。 3).排放硫酸液，然后用清水冲洗 2.1.2 1).用2% (w/w) NaOH溶液浸泡4小时，然后用清水冲洗。 2).再用2 % (v/v)硫酸溶液泡4小时，然后用清水冲洗。 2.1.3 1).用2%硫酸(v/v)和5%(v/v)双氧水(35%)混合溶液用作微蚀处理铜球表面。 2).再用清水冲洗，并放入1%(v/v)硫酸溶液中储存备用。 2.1.4 1).用2 - 5%(v/v) NaOH溶液浸泡4 - 8小时，然后用清水冲洗。 2).再用2%(v/v)硫酸溶液浸泡4小时。 3).把钛篮放入注满10% 硫酸的镀铜槽中的阳极位置。 4).在阴极挂上不锈钢板。 5).用6 - 8V电压，稳压电解处理钛篮约一小时。 6).用去离子水彻底冲洗。 2.1.5 1).用4%(v/v) 硫酸溶液浸泡4 - 8小时。 2).然后用清水冲洗，并放于1%(v/v)硫酸溶液中储存使用。 2.2 配槽简表 药品 配槽浓度 100 L配槽用量 纵横比 7:1 纵横比 3:1-7:1 纵横比 3:1 纵横比 7:1 纵横比 3:1-7:1 纵横比 3:1 硫酸铜 硫酸(98%) 氯离子 酸铜添加剂1301M 45 g 165 ml/L 75 ppm 4 ml/L 60 g 145 ml/L 75 ppm 4 ml/L