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第五章 电子光学基础 山东科技大学材料学院 吴杰 第一节 电子波与电磁透镜 第二节 电磁透镜的像差与分辨率 第三节 电磁透镜的景深和焦长 第一节 电子波与电磁透镜 由衍射效应所限定的分辨率在理论上可由瑞利（Rayleigh）公式计算，即 式中，△r0为成像物体(试样)上能分辨出来的两个物点间的最小距离，表示分辨率的大小， △r0越小，透镜分辨率越高； N为介质的相对折射系数；α为透镜的孔径半角。 物体上的物点通过透镜成像时，由于衍射效应，在像平面上得到的并不是一个点，而是一个中心最亮、周围带有明暗相间同心圆环的圆斑，即埃利(Airy)斑。 如果样品上有两个物点S1、S2通过透镜成像，在像平面上会产生两个埃利斑S1’、S2’。两个物点相距较远时，两个埃利斑各自分开；当两个物点逐渐靠拢时，两个埃利斑也相互靠近，直至发生部分重叠。 当两个埃利斑的中心间距等于埃利斑的半径R0时，在两个埃利斑强度叠加曲线上，两个最强峰之间的峰谷强度降低了19％，这个强度反差对人眼来说是刚有所感觉，即该反差是人眼能否感觉出存在S1’、S2’两个斑点的临界值。将此时两个埃利斑的间距折算到物平面上点S1、S2的位置上去，就形成两个以△r0＝R0/M为半径的小圆斑，两个圆斑之间的距离与它们的半径△r0相等。如果两个物点S1、S2的距离进一步缩小，就无法通过透镜把它们的像S1’、S2’分辨出来。 结论：若以任一物点为圆心，并以△r0为半径作一个圆，此时与之相邻的第二物点位于这个圆周之内时，透镜就无法分辨出此二物点间的反差。如果第二物点位于圆周之外，便可被透镜鉴别出来。因此△r0就是衍射效应限定的透镜分辨率。 光学显微镜的分辨率为： 上式说明，光学显微镜的分辨率取决于照明光源的波长。半波长是光学显微镜分辨率的理论极限。可见光的最短波长是390nm，也就是说光学显微镜的最高分辨率是200nm左右。 要提高显微镜的分辨率，关键是要有波长短，又能聚焦成像的照明光源。 顺着电磁波谱朝短波方向寻找，紫外光的波长在13-390nm之间，比可见光短多了。但是大多数物质都强烈地吸收紫外光，因此紫外光难以作为照明光源。 更短的波长是X射线。但迄今为止还没有找到能使X射线改变方向、发生折射和聚焦成像的物质，也就是说还没有X射线的透镜存在。因此X射线也不能作为显微镜的照明光源。 1924年，德布罗意（De Brolie）发现电子波的波长比可见光短十万倍。两年后，布施（Busch）指出轴对称非均匀磁场能使电子波聚焦。在此基础上，1933年鲁斯卡（Ruska）等设计并制造了第一台透射电子显微镜。 二、电子波波长 根据德布罗意（de Broglie）的观点，运动的电子除了具有粒子性外，还具有波动性。这一点上和可见光相似。电子波的波长取决于电子运动的速度和质量，即: 式中，h为普郎克常数，h=6.626×10-34J.s；m为电子质量； v为电子运动速度，它和加速电压U之间存在如下关系： e为电子所带电荷，e=1.6×10-19C。 当电子运动速度较低时，m接近电子静止质量m0（m0＝9.1×10-31Kg）；当电子运动速度很高时，电子质量必须经过相对论校正，即： 可见，λ与U成反比，加速电压U越高，电子运动速度v越大，电子波长λ越短。 不同加速电压下的电子波波长 目前电子显微镜常用的加速电压为100KV～1000KV之间，对应的电子波波长范围是0.00371nm～0.00087nm，这样的波长比可见光的波长短了约5个数量级。 三、电磁透镜 电子波和光波不同，不能通过玻璃透镜会聚成像。但是轴对称的非均匀电场和磁场则可以让电子束折射，从而产生电子束的会聚与发散，达到成像的目的。人们把用静电场构成的透镜称之为“静电透镜”；把电磁线圈产生的磁场所构成的透镜称之为“电磁透镜”。 1、静电透镜 当电子在电场中运动，由于电场力的作用，电子会发生折射。我们将两个同轴圆筒带上不同电荷（处于不同电位），两个圆筒之间形成一系列弧形等电位面族，散射的电子在圆筒内运动时受电场力作用在等电位面处发生折射并会聚于一点。这样就构成了一个最简单的静电透镜。 透射电子显微镜中的电子枪就是一个静电透镜。 2、电磁透镜 电子在磁场中要受到洛伦兹力： 电子沿磁场方向入射,则电子沿这个方向匀速直线运动。 电子垂直于磁场方向入射,则电子在一个平面内做圆周运动。 电子相对于磁场方向以任意角入射,则电子做螺旋线运动。 通电的短线圈就是一个简单的电磁透镜，它能造成一种轴对称不均匀分布的磁场。磁力线围绕导线呈环状，磁力线上任意一点的磁感应强度B都可以分解成平行于透镜主轴的分量Bz和垂直于透镜