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光电检测系统总结 第一章概论 1.检测技术的概念与分类。 定义：确定被测对象的属性和量值为目的的全部操作检测技术分类 按工作原理：机械式 阻抗式 电量式 光电式 辐射式 按工作方式：接触式，非接触式 按工作物质：电量式，非电量式 2.光电检测技术特点，光电检测系统组成。 特点：光电检测技术以激光、红外、光纤等现代光电器件为基础，通过对载 有被检测物体信号的光辐射（发射、反射、散射、衍射、折射、透射等）进行检 测，即通过光电检测器件接收光辐射并转换为电信号。 由输入电路、放大滤波等检测电路提取有用的信息，再经过 A/D 变换接口 输入微型计算机运算、 处理，最后显示或打印输出所需检测物体的几何量或物理 量。 系统组成： 光 光 被 光 光 变 电 存 储 源 学 测 学 电 换 信 系 对 变 传 电 号 统 象 换 感 路 处 理 显 示 控 制 光学变换 电路处理 1 光电检测系统总结 第二章基础知识 电磁波谱图 光谱光视效率函数 2 光电检测系统总结 器件的基本特性参数 响应特性 噪声特性 量子效率 线性度 工作温度一、响应特性 １．响应度（或称灵敏度） ：是光电探测器输出信号与输入光功率之间关系的度量。描述的是光电探测器件的光电转换效率。 响应度是随入射光波长变化而变化的 响应度分电压响应率和电流响应率 V o 电压响应率： 光电探测器件输出电压与入射光功率之比 SV Pi 电流响应率：光电探测器件输出电流与入射光功率之比 I o S I Pi ２．光谱响应度： 探测器在波长为 λ 的单色光照射下， 输出电压或电流与入射的单色光功率之比 ３．积分响应度：检测器对各种波长光连续辐射量的反应程度． ４．响应时间：响应时间 τ 是描述光电探测器对入射光响应快慢的一个参数 . 上升时间：入射光照射到光电探测器后， 光电探测器输出上升到稳定值所需 要的时间。 下降时间：入射光遮断后，光电探测器输出下降到稳定值所需要的时间。 ５．频率响应：光电探测器的响应随入射光的调制频率而变化的特性称为频率响应 二、噪声特性 在一定波长的光照下光电探测器输出的电信号并不是平直的， 而是在平均值上下随机地起伏，它实质上就是物理量围绕其平均值的涨落现象 1 T I i i (t ) dt T 0 21 T 用均方噪声来表示噪声值大小 i (t) i (t)] 2 dt T [i(t ) 0 噪声的分类及性质 外部干扰噪声 :人为干扰噪声的和自然干扰噪声。 3 光电检测系统总结 人为干扰：电子设备的干扰噪声。 如焦距测量仪在日光灯下， 人的走动对干涉仪的光程影响。 自然干扰：雷电、太阳等。如光电导盲器在太阳下 内部噪声 :人为噪声和固有噪声两类。 人为噪声：如工频交流电（ 50Hz)、测试仪器的散热风扇引起的光路变化。 固有噪声：散粒噪声、热噪声、产生 -复合噪声、 1/f 噪声、温度噪声 光电探测器常见的噪声 热噪声：载流子无规则的热运动造成的噪声。 热噪声存在于任何电阻中， 热噪声与温度成正比，与频率无关，热噪声又称为白噪声。 散粒噪声：入射到光探测器表面的光子是随机的， 光电子从光电阴极表面逸出是随机的， PN 结中通过结区的载流子数也是随机的。 散粒噪声也是白噪声， 与频率无关。 散粒噪声是光电探测器的固有特性， 对大多数光电探测器的研究表明：散粒噪声具有支配地位。 产生 -复合噪声： 半导体受光照，载流子不断产生 -复合。在平衡状态时，在载流子产生和复合的平均数是一定的。 但在某一瞬间载流子的产生数和复合数是有起伏的。载流子浓度的起伏引起半导体电导率的起伏。 1/f 噪声：或称闪烁噪声或低频噪声。噪声的功率近似与频率成反比。多数 器件的 1/f 噪声在 200~300Hz 以上已衰减到可忽略不计。 典型代表：电流幅值漂 移 温度噪声：由热探测器和背景之间的能量交换所造成的探测器自身的温度起伏，称为温度噪声。 第三章光电器件 电荷耦合器件（ CCD ）原理和工作过程 CCD 是一种电荷耦合器件 (Charge Coupled Device) CCD 的突出特点：是以电荷作为信号，而不同于其它大多数器件是以电流或者 电压为信号。 CCD 的基本功能是电荷的存储和电荷的转移。 CCD 工作过程的主要问题是信号电荷的产生、存储、传输和检测。 CCD 的结构 4 光电检测系统总结 MOS 光敏元：构成 CCD 的基本单元是 MOS(金属—氧化物—半导体 )结构。 电荷存储 在栅极加正偏压之前， P 型半导体中的空穴（多子）的分布是均匀的。 加正偏压后，空穴被排斥而产生耗尽区，偏压增加，耗尽区向内延伸。 UG＞ Uth 时，半导体与绝缘体界面上的电势变得非常高， 以致于将半导体内的电子 (少子 )吸引到表面，形成一层极薄但电荷浓度很高的反型