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Array工艺过程;一、Array工艺流程简介
二、Clean工艺简介
三、Sputter工艺简介
四、PECVD工艺简介
五、 Photo工艺简介
六、 Etch工艺简介
七、 Strip工艺简介
八、4 Mask和5 Mask比较
九、4Mask工艺流程; 一. Array工艺流程简介; 二、Clean工艺简介; 二、 Clean工艺简介; 二、 Clean工艺简介; 二、 Clean工艺简介; 三、 Sputter工艺简介; 三、 Sputter工艺简介; 三、 Sputter工艺简介;; 三、 Sputter工艺简介
质量控制:
Rs测量的是薄膜的电学性能,测量仪器为4探针设备(4-probe)。控制值为Rs平均值(单位为方块电阻),均匀性。
PI是采用光学的方法测量薄膜上的defect,主要为Dep中产生的particle数量,Gate要求小于50ea,SD要求小于100ea,ITO要求小于150ea.
Thickness是采用机械的方法测量薄膜厚度,测量仪器为a-step设备。它是检测非透明薄膜厚度的常用手段。Sputter所dep的三层薄膜均可以用a-step设备来测试。另外,由于ITO为透明膜,它也可以用光学方法来测试。
Stress测量的是薄膜应力,薄膜应力太大,容易引起玻璃基板弯曲乃至broken。
质量控制中的Rs和PI为经常测试项目,Thickness和Stress为非经常测试项目。; 三、 Sputter工艺简介;SiNX绝缘膜:通过SiH4与NH3混合气体作为反应气体, 辉光放电生成等离子体在衬底上成膜。; 四、 PECVD工艺简介; 四、 PECVD工艺简介; 四、 PECVD工艺简介; 五、 Photo工艺简介; 五、 Photo工艺简介; 五、 Photo工艺简介; 五、 Photo工艺简介; 五、 Photo工艺简介; 五、 Photo工艺简介; 六、 Etch工艺简介; 六、 Etch工艺简介; 六、 Etch工艺简介; 六、 Etch工艺简介; 六、 Etch工艺简介; 七、 Strip工艺简介;; 4Mask与5Mask不同之处在于4mask将Active层与S/D层一起沉积,涂覆PR胶后进行一次mask,在PR胶上形成一个凹坑。显影后进行第一次S/D层和Active层的刻蚀,然后Ashing使PR胶凹坑处露出S/D层,接着进行第二次S/D层和N+层的干法刻蚀,最后进行剥离,同时完成这两层的全过程。;;4Mask工艺流程 1 .Gate process 2 .SDT process 3 .PVX process 4 .ITO process;Gate Mask目的:为形成Gate Line,通过光刻形成PR pattern;glass;glass;Sputter Chamber; 九、4Mask工艺流程介绍-Gate process; 九、4Mask工艺流程介绍-Gate process---Bake;; 九、4Mask工艺流程介绍-Gate process--- Interface;glass; Gate层所镀膜的材料及膜厚:
AlNd:3000? Mo:400?; 九、4Mask工艺流程介绍-Gate process---Aligner; 九、4Mask工艺流程介绍-Gate process---Developer;; 九、4Mask工艺流程介绍-Gate process---Wet Etch;;;;GT Exposal Develop;;;;;1. Pre Dep. Clean;;3. VIA Mask;;1. Pre Dep. Clean;2. ITO Deposition;;谢谢大家
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