扫描电镜在材料研究中的应用-所级公共技术服务中心-上海应用物理.pdf

扫描电镜 在材料研究中的应用 材料评估中心 何绥霞 2018年05月17 日 内容提要  一 原理  二 主要功能及应用 （一） 二次电子像 （二）背散射电子像 （三）能谱分析 （四）背散射电子衍射  三 扫描电镜的操作 型号： LEO 1530VP 型号：Merlin Compact 分辨率：1.0nm at 20kV；5nm at 0.2kV 分辨率：1.0nm at 15kV；1.7nm at 1kV 加速电压：0.1KV-30kV 加速电压：0.05KV-30kV 有效放大倍数：30-200K 放大倍数：12-20000K 一 原理 扫描电镜在材料研究中的范围  1. 宏观结构 ：一般指人的肉眼和放