“干盘管”在电子洁净厂房中的应用.pdfVIP

“干盘管”在电子洁净厂房中的应用 上海电子工程设计研究院有限公司 李婕璇 摘要  2007年 3 月，我国首座超低能耗示范楼（又称节能楼），在清华大学落成。在其空 调系统设计中，由于采用了独立除湿系统，所以使得末端设备无需承担除湿功能。这样的设 计，日后各地纷纷效仿。干盘管，就是这一设计的产物。本文根据电子洁净厂房发热量大， 散湿量少的特点，分析了“干盘管”在电子洁净厂房中的应用，从其特点、设计选型、实际 案例分析、与其他空调净化系统的比较等方面，较全面的介绍了干盘管。尤其在设计选型和 实际案例分析的方面应用了大量理论和实际资料，使本文具有了相当的实用性。利用干盘管， 就应运而生了新兴的空调系统，新风机组＋干盘管 DC＋FFU的净化系统。虽然该系统的初投 资较原来传统的净化系统相比，差不多；但是由于其具有运行成本大大降低，机电施工量大 大减少，节能等诸多的优点，所以很快的就被应用到洁净室中。 关键词 干盘管 电子洁净厂房 节能 0  引言  空气洁净技术（又称洁净技术或洁净室技术）最初是指以控制室内空气中悬浮颗粒物浓度为 目标的相关技术，并以此来划分洁净度等级或级别。随着现代技术（航天技术、原子能技术、 医疗、制药、生物，实验室，电子技术等）的迅速发展，特别是微电子工业的发展，对生产 环境的洁净技术已被广泛应用，控制的对象也从单一的悬浮颗粒物扩展到有害气体，形成了 当前比较完善的洁净技术体系。现代工业洁净室应用的代表是微电子行业，主要产品为大规 模集成电路和平板显示器。半个多世纪以来，集成电路得到迅猛发展。微电子产品的迅速发 展对传统的洁净技术提出了极大的挑战，同时也促进了现代洁净技术的发展。  1  电子洁净厂房的概念综述  电子洁净厂房的组成、定义及分类  电子洁净厂房一般包括四个部分：洁净生产用房（通常兼有一般生产用房），空调冷冻机房， 纯水和气体净化站，人员、物料净化用房。我国国家标准 GB50072‐2001 《洁净厂房设计规 范》将洁净室定义为“空气悬浮粒子浓度受控的房间”。并要求“它的建造和使用应减少室 内诱入、产生及滞留粒子。室内的其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制”。 这一定义与最新的 ISO14644 国际标准的定义是一致的。包括了洁净室以空气中悬浮粒子浓 度为主要控制对象，空气洁净技术所依据的基本原理，不同的应用要求及控制级别对其它有 关参数的控制要求。洁净室按不同分类方式有很多种。按洁净室用途分，可分为工业洁净室 和生物洁净室；按气流组织形式分，可分为单向流洁净室、非单向流洁净室（又称乱流洁净 室）、混合流洁净室、矢流（对角流）洁净室；按洁净室建造方式分，可分为土建式洁净室 和装配式洁净室；按空气洁净设备的布置方式分，可分为全室型洁净室、局部型洁净室和结 合型洁净室。   1.2 电子洁净厂房的特点  电子洁净厂房在工艺、维护结构和空调系统气流组织上都有其独有的特点：  1.电子洁净厂房有其特定的工艺生产特点：  分类众多，有集成电路生产，平面显示器生产，硅材料生产，光纤生产，制卡业，表面贴装， 分离器件生产，整机组装生产，自控元器件生产等等。冷负荷比其他行业的洁净室大很多。 单位冷负荷达 400w/m2～500 w/m2 很常见。由于冷负荷大，一般情况下，冬季也需要供冷 成为电子行业特点。  2.维护结构要求严密性非常高，并且要求结构尽量不产生尘、不积尘。目前，洁净厂房的围 护结构均为夹心彩钢板，夹心层为岩棉、铝蜂窝、纸蜂窝、聚苯、聚氨酯等，根据厂房性质 和业主要求进行选择。采用上述结构后，洁净室的绝热性将大大加强，外界的热量很难通过 围护结构进入室内，同时室内的热量也很难通过维护结构传出；  3 ．循环风量大，气流分布要求均匀。洁净室的洁净度是由经过三级过滤（初、中、高）的 洁净空气来稀释室内被污染的空气或利用活塞效应用洁净空气把被污染的空气挤压出洁净 室的方法而达到不同洁净度的，因此洁净空调系统的风量和气流组织形式是保证达到洁净度 的关健，1．非单向流洁净室一般适用于 6、7、8、9 级（也就是原美国联邦标准 209E 千级、 万级、十万级），洁净度要求不高的洁净室是用稀释的方式来达到一定的洁净度，所需的风 量相应较小，送风量的取值一般以每小时换气次数来决定。2.单向流的洁净室的风量是以洁 净室断面气流流速来确定。无论何种情况的风量计算其主要作用在于限制和减少灰尘对工件 或工作区域的污染；  4.温湿度要求精度高并且恒定。由于电子产品的制造工艺对温、湿度的变化极为敏感，所以 空气参数