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基于压电陶瓷微位移执行器的精密定位技术研究 2010年第29卷第2期传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies)51 基于压电陶瓷微位移执行器的精密定位技术研究 韩同鹏,李国平,沈杰 (宁波大学工学院.浙江宁波315211) 摘要:阐述了压电陶瓷微位移执行器的驱动原理,介绍了执行器的性能与应用情况;利用自行设计的输 出特性测试系统,对WTYD0808042压电陶瓷微位移执行器进行了相关实验研究,分析了执行器的非线性 和迟滞特性;采用Duhem算子建立了压电执行器的迟滞模型,利用建立的Duhem模型作为PID反馈控制 的前馈环节进行闭环精密定位控制的研究.实验结果表明:该模型能够有效降低非线性和迟滞特性对压 电执行器位移输出精度的影响,提高执行器的动态响应特性. 关键词:压电陶瓷微位移执行器;输出特性测试;Duhem模型;精密定位 中图分类号:TP242文献标识码:A文章编号:1000-9787(2010)02-0051-03 Stud~accuratepositioningtechnologyfpiezoelectrictudy0naccuratetecnnologyo13t ■…x Ceramlcsmicro-displacementactuator HANTong—peng,LIGuo-ping,SHENJie (FacultyofEngineering,NingboUniversity,Ningbo315211,China) Abstract:Theactuationprincipleofthepiezoelectricceramicsmicro-displacementactuatoriselaborated,andthe characteristicsandtheapplicationsoftheactuatorareintroduced.Relativeexperimentalresearchesonthe WTYD0808042piezoelectricceramicsmicro—displacementactuatorarecarriedoutwithself-designedoutput characteristicstestsystem,andthenon—linearandhysteresisofactuatorareanalyzed.ADuhemmodelisusedto establishthehysteresismodelofapiezoelectricactuator.Aresearchonclose—loopprecisionpositioningcontrol usingtheestablishedDuhemmodelasafeedforwardsegmentofaPIDfeed—backcontrolisconducted. Experimentalresultsshowthatthismodelcaneffectivelyeliminatetheeffectsofnonlinearityandhysteresiswhich affectthedisplacementoutputprecisionofapiezoelectricactuator,andimprovethedynamicresponseproperty. Keywords:piezoelectricceramicsmicro—displacementactuator;outputcharacteristicstest;Duhemmodel; accuratepositioning 0弓l言 电致伸缩是在压电晶体极化方向上施加电场作用使其 产生可控机械变形的现象,这种现象又叫做逆压电效 应….压电陶瓷微位移执行器(piezoelectricceramicsmicro— displacementactuator)是利用压电陶瓷材料的逆压效应制 成的驱动器,它具有控制精度高(可达0.01m),响应速度 快(约为10Ws),位移分辨率高,输出力大等优点.在振动 主动控制,高精度非圆切削系统以及机器人位移调节等精 密工程领域具有广泛的应用前景. 在实际的动态控制应用中,压电陶瓷微位移执行器的 输入电压与输出位移间呈现出显着的非线性和由压电陶瓷 叠堆固有特性所导致的迟滞,这给高精度的位移驱动带来 了一定的影响.本文通过实验测试压电陶瓷微位移执 收稿日期:2009-07-31 基金项目:浙江省自然科学基金资助项目(Y107792) 行器的静态,动态输出位移特性,在分析执行器输出特性的 基础上建立执行器致动模型,并利用得到的模型对白行设 计的基于柔性铰链的压电驱动微进给装置进行精密定位控 制实验