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微型溅射离子泵性能测试 第25卷第6期 2005年1l,12月 真空科学与技术 JOURNALOFVACUUMSCIENCEANDTECHNOLOGY(CHINA) 微型溅射离子泵性能测试 梅国强齐京陈旭朱秀珍 (清华大学电子工程系北京10(X)84) ExperimentalEvaluationofMiniatureSputteringIonPump MeiGuoqiang,QiJing,ChenxuandZhuXiuzhen (及枷删ofE/ectron/c助咖,咖,Be/j/rig,100084,Ch/na) AbstractThetesa.gtechniqueandsystemofthenewlydeveloped,miniaturizedsputteringionpumpwithlowpumpingsphasbeen developedino,CCOlY],ttncewiththestandardsformulatedbynl~ld3JIieindustry.Possible$D1Jrcesofmeasurementerrorwereanalyzed.andtheteeh- nicalspecificationsofthepumpwereexperimentallyevaluated. KeywordsMiniaturesputteringionpump,Experimentalevaluation,Ol~ceflowdy~miemethod 摘要本文介绍了小抽速微型溅射离子泵的性能测试系统和参考机械行业标准确定的测试方法,探讨了测量结果误差 来源.实验测试了微型溅射离子泵的各项性能指标,为进～步研制提供了依据. 关键词微型溅射离子泵性能测试动态流导法 中圈分类号:TN1文献标识码:A文章编号:1672-7126(2005)06-0449.05 溅射离子泵是利用几千伏和几千高斯的正交电 磁场约束下低压强冷阴极气体放电(潘宁放电)现象 制成的一种清洁,长寿命,极限压强可达lOPa的 真空泵,它还有工作压强范围宽,便于控制,不易损 坏等优点…1.溅射离子泵已有抽速50L/s,100L/s, 200L/s,300L/s等系列产品,且在各种超高真空装 置上得到广泛的应用.溅射离子泵的性能指标主要 有抽速,极限压强,启动压强,使用寿命等.影响溅 射离子泵性能的因素很多,包括电场,磁场强度阳极 简直径,阳极筒长度,工作压强等…1,已有理论方面 的专门研究.但目前的理论公式不能给出一个准确 的计算结果,只有通过实验测定溅射离子泵在给定 参数下的性能指标,其性能测试方法已经成熟,并已 建立了行业标准【2I. 目前,国内外的溅射离子泵测试标准均适用于 抽速gt;10L/s溅射离子泵.新研制的微型溅射离子 泵设计抽速≥O.2L/s,由于抽速较小,需考虑真空 系统本底及真空系统内部出气等影响,相关的测试 标准不能满足要求.本文参考了国内外溅射离子泵 的测试方法3和行业标准,提出了微型溅射离子泵 性能的测试方法,并利用现有实验设备设计了测试 收稿日期:2005-05-07 *联系人:副教授,~mail:chenxu@,Tel:010系统,实际测试了微型溅射离子泵的各项性能指标. 文中主要讨论抽速,离子流与压强的关系,最高启动 压强和极限压强等几个重要性能指标的测试结果. 1测试系统及测试方法 1.1测试系统 在现有条件下改建了实验系统,如图1所示. 电离泵电离I蔓皇l;泵 四极质谱计{四谱计电. , 匿..L啊鼙l jr流量计I囱司J .. 被激 A机械泵Tl U囱图—呻—囱 氯气气瓶离子泵机泵分子泵 图I微型溅射离子泵性能测试系统 Fig.1Schematicsoftheexperimentalsystemfortesting theminiaturesputteringionpump 真空科学与技术第25卷 气体从储气室经微调阀进入主真空室.主真空室和 抽速测试室中间安装标准流导进行抽速测试.由于 微型溅射离子泵抽速较小,抽速测试室和极限压强 测试室采用了长为120啪,直径35哪的小圆筒 罩.抽速测试室和极限压强测试室材料均为不锈 钢.电离计1,2,3采用睿宝公司ZDF5201型复合真 空计,安装在测试室的中部,避免泵抽气的影响. 1.2动态流导法抽速测量原理 抽速测量方法包括动态流导法和静态法.考虑 到静态法中出气影响较大,采用了动态流导法.如 图2所示,气体由充气室经过标准流导进入测试室, 然后被微型溅射离子泵抽走. 被测微型 溅射离子泵 图2动态流导法示意图 rig.2Schematicsoftheorificeflowdynami~method 通过测量标准流导两端充气室和测试室的压强 P1,P2,按如下公