PMEye-3000 系列 PL Mapping 测量仪器.pdfVIP

北京卓立汉光仪器有限公司 PMEye-3000 系列 PL Mapping 测量仪 ◆PLMapping 测量 ◆多种激光器可选 ◆Mapping 扫描速度：优于 20 点/秒 ◆空间分辨率：10um （物镜），50um （透镜） ◆光谱分辨率：0.1nm@1200g/mm ◆Mapping 结果以 3D 方式显示 ◆最大 8 吋的样品测量 ◆晶片精确定位 ◆样品真空吸附 ◆可做低温测量 ◆膜厚测量 Zolix Instruments Co., Ltd. E-mail: info@ 010 北京卓立汉光仪器有限公司 测试原理： PL 是一种辐射复合效应。在一定波长光源的激发下，电子吸收激发光子的能量，向高 能级跃迁而处于激发态。激发态是不稳定的状态，会以辐射复合的形式发射光子向低能级 跃迁，这种被发射的光称为荧光。荧光光谱代表了半导体材料内部，一定的电子能级跃迁 的机制，也反映了材料的性能及其缺陷。 操作简便、全电脑控制 PMEye-3000 系列 PL Mapping 测量仪，是一款适合于半导体晶片和 LED 外延片科研、 生产和质量控制环节的仪器；采用整机设计，用户只需要根据需要放置合适的检测样品， 无需进行复杂的光路调整，操作简便；所有控制操作均通过计算机来控制实现。 全新的样品台设计，采用真空吸附方式对样品进行固定，防止对样品的损伤；可对常 规尺寸的晶圆样品进行精确定位，提高测量重复性。 系统采用直流和交流两种测量模式，直流模式用于常规检测，交流模式用于微弱荧光 检测。 荧光测量 一般的 PL 测量仪只是测量荧光的波长和强度。PMEye-3000 系列增加对激光强度的监 控，并根据监控结果来对荧光测量进行校正。这样就可以消除激发光源的不稳定带来的测 量误差，也使测量结果有可比性。 Mapping 功能 PMEye-3000 系列配置 200X200mm 的 X-Y 电控位移台，最大可测量 8 英寸的晶圆样 品。用户可以根据不同的样品规格来设置扫描区域及空间分辨率，扫描速度优于每秒 20 个点，空间分辨率可达 10um （物镜），50um （透镜）。扫描结果以3D 方式显示，以不同 的颜色来表示不同的荧光强度。 激光器 PMEye-3000 系列有多种高稳定性的激光器可选，系统最多可内置 2 个激光器和一个 外接激光器，标配为 1 个激光器。用户可以根据测量对象来配置不同的激光器，使 PL 检 测更加灵活。 PMEye-3000 系列可内置的激光器波长有：266nm ，405nm ，442nm ，532nm、785nm 等，外置激光器波长有：325nm，632.8nm 等。 Zolix Instruments Co., Ltd. E-mail: info@ 010 北京卓立汉光仪器有限公司 功能强大的软件 我们具有多年的测量仪器操作软件的开发经验，熟悉用户的操作习惯，这使我们开发 的这套PMEye-3000 系列操作软件功能强大且操作简便。 PMEye-3000 系列操作软件提供单点 PL 光谱测量及显示，单波长的 X-Y Mapping 测量 及显示，mapping 结果以 3D 方式显示。同时具有多种数据处理方式来对所测量的数据进行 处理。 低温样品室附件 该附件可实现样品在低温状态下的荧光检测。 有些样品在不同的温度条件下，将呈现不同的 荧光效果，这时就需要对样品进行低温制冷。 如图所示，从图中我们可以发现在室温时，GaN 薄膜的发光波长几乎含盖整个可见光范围，且强度 的最高峰出现在 580nm 附近，但整体而言其强度并 不强；随着温度的降低，发光强度开始慢慢的增加， 直到 110K 时，我们可以发现在 350nm 附近似乎有 一个小峰开始出现，且当温度越降越低，这个小峰 强度的增加也越显著，一直到最低温 25K 时，基本 上就只有一个荧光峰。 GaN 薄膜的禁带宽度在室温时为 3.40Ev,换算 成波长为 365nm，而我们利用 PL 系统所测的 GaN 薄膜在 25K 时在 356.6nm 附近有一个峰值，因此如 果我们将 GaN