传感器技术_第三章.pptVIP

电阻式传感器 3.3 电阻应变式传感器 电阻应变式传感器由两方面的应用：一是作为敏感元件，直接用于被测试件的应变测量（应力、应变等）；另一是作为转换元件，通过弹性敏感元件构成传感器，用以对任何能转变成弹性元件应变的其他物理量作间接测量（力、压力、加速度等）。 电阻式传感器 应变力式传感器 应用领域：称重和测力。 组成：应变片，弹性元件和附件（补偿元件、壳体等）。 弹性元件：柱式、筒式、环式、悬梁式、轮辐式等。 用途：作为各种电子称与材料试验机的测力元件、 发动 机的推力测试、 水坝坝体承载状况监测等。 电阻式传感器 圆柱（筒）式力传感器 （a）柱形；（b）筒形；（c）圆柱面展开图；（d）桥路连线图 应变式加速度传感器 3 2 1 4 1－应变梁； 2－ 质量块 3－ 保护块；4－ 应变片 依据：a=F/m 电阻式传感器 第三章 电阻式传感器 电阻式传感器 3.1 电阻应变片 3.1.1 应变电阻效应 电阻式传感器 导体或半导体材料在外界力（拉力或压力）的作用下产生机械变形，机械变形会导致其电阻值变化，这种因形变而使其阻值发生变化的现象称为“应变效应”。 电阻式传感器 当材料受到轴向力而被拉伸（或压缩）时，其l、A和?均发生变化，因而电阻随之发生变化。对上式取对数后再作微分，即 式中， ? 材料的轴向线应变， 常用单位??（1 ?? = 1?10-6 mm/mm） （3.2） 其中，r ? 导体的半径；? ? 导体材料的泊松比。 所以， 对于金属导体或半导体，上式中电阻率相对变化的受力效应是不一样的，分别讨论如下： （3.3） 电阻式传感器 金属材料的应变电阻效应 通过实验研究发现，金属材料的电阻率相对变化与其体积相对变化之间有如下关系 式中，C ? 由一定的材料和加工方式决定的常数。 （3.4） （3.5） 代入式(3.3)，并考虑实际上?R ?? R，故可得 式中， ? 金属丝材料的应变灵敏系数 电阻式传感器 上式表明：金属材料的电阻相对变化与其线性应变成正比。这就是金属材料的应变电阻效应。 电阻式传感器 半导体材料的应变电阻效应 半导体单晶Si、Ge等材料在外力作用下电阻率将发生变化，这种现象称为压阻效应。 （3.6） 式中，? ? 作用于材料的轴向应力； ? ? 半导体材料在受力方向的压阻系数； E ? 半导体材料的弹性模量。 电阻式传感器 将式(3.6)代入式(3.3)，可得 （3.7） 式中， ? 半导体材料的应变灵敏系数。 因此，金属和半导体的应变电阻效应为， 式中，K0 ? 导电材料的灵敏系数 。 金属材料 金属丝材的应变电阻效应以几何尺寸变化为主。 电阻式传感器 灵敏系数的讨论 它由两部分组成： 前部分为受力后金属丝几何尺寸变化所致； 后部分为电阻率随应变而变的部分。 它由两部分组成： 前部分为受力后半导体几何尺寸变化所致； 后部分为半导体材料的压阻效应所致。 电阻式传感器 半导体材料的应变电阻效应主要基于压阻效应。 半导体材料 电阻式传感器 使用应变片测量应变或应力时，是将应变片牢固地粘贴在被测弹性元件上，当元件受力变形时，应变片随之相应变形，从而引起电阻的变化。当测得应变片电阻值变化量为ΔR时，便可得到被测对象的应变值， 根据应力与应变的关系，得到应力值σ。 3.1.2 测试原理 通过弹性敏感元件的作用，将位移、力矩、压力、加速度等参数转换为应变，因此可将应变片由测量应变扩展到测量能引起应变的各种参量，从而形成各种电阻应变式传感器。 电阻式传感器 3.1.3 电阻应变片的结构和类型 应变片的结构 利用导电材料的应变电阻效应，可以制成测量元件表面应变的传感元件。为在较小的尺寸范围内敏感有较大的输出，通常把应变丝制成栅状的应变传感元件，即电阻