阳极氧化物纳米孔道和TiO2纳米管形成机理的研究进展-物理化学学报.pdf

物理化学学报(Wuli Huaxue Xuebao) June Acta Phys. -Chim. Sin . 2012, 28 (6), 1291-1305 1291 [Review] doi: 10.3866/PKU.WHXB201204093 阳极氧化物纳米孔道和TiO 纳米管形成机理的研究进展 2 朱绪飞1,* 韩 华2 宋 晔1 段文强2 1 ( 南京理工大学, 软化学与功能材料教育部重点实验室, 南京210094; 2 中国科学院自动化研究所, 国家专用集成电路设计工程技术研究中心, 北京100190) 摘要: 自组织有序的TiO 纳米管和多孔型阳极氧化膜(PAO)因其潜在的应用价值而倍受关注. 阀金属的阳极 2 氧化研究了80 多年, 但是六棱柱元胞结构和多孔纳米管的形成机理至今尚不清楚. 本文不是简单地综述PAO 的形成机理, 而是从更宽的视角综述了致密型阳极氧化膜与PAO 的本质联系和形貌差异. 对比两种膜的形貌 差异和生长过程有助于孔洞形成本质的认识. 简要综述了PAO 的传统“场致助溶(FAD)”理论和局限性, 重点综 述了PAO 形成机理的最新研究进展, 包括粘性流动模型、阻挡层击穿模型、氧气气泡成孔模型、等电场强度模 型等. 在充分对比分析最新成果的基础上, 对PAO 机理研究的发展趋势进行了展望: 采用超声氧化、真空或高 压条件下氧化以及对电解液中添加碳酸钠或还原剂等方法, 对揭示孔洞形成和自组织的本质将会有很大帮助; 从电流和阳极氧化效率角度入手, 是探究传统FAD 理论的物理本质的有效途径. 关键词: 致密型阳极氧化物; 多孔型阳极氧化物; 形成机理; 阳极氧化; 自组织 中图分类号: O646 Research Progress in Formation Mechanism of TiO2 Nanotubes and Nanopores in Porous Anodic Oxide 1,* 2 1 2 ZHU Xu-Fei HAN Hua SONG Ye DUAN Wen-Qiang 1 ( Key Laboratory of Soft Chemistry and Functional Materials of Education Ministry, Nanjing University of Science Technology, Nanjing 210094, P. R. China; 2 The National Engineering and Technology Research Center for ASIC Design, Institute of Automation, Chinese Academy of Sciences, Beijing 1001