设备工艺-真空与薄膜基础知识(ppt 44页).ppt

* 罗茨泵转子冷却问题 泵连续长时间工作会导致转子温度的升高，在10Torr量级范围内，被抽气体导热能力变的很差，转子的散热主要是向泵腔辐射被带走，这样会使转子和泵腔存在很大的温度差，转子的热膨胀可能导致转子之间及于泵腔间隙的减小乃至消失，转子就可能被卡死，乃至损坏。 转子的冷却一般有两种方法:1.在出气口加水冷却器，排气回流的气体经过热交换器变成了低温气体，它在通过间隙返流时就可以对转子进行冷却;2.往主轴的颈部内孔通冷却流体，进入到转子内部，进而通过循环实现对转子的冷却，通过负荷的大小来调节油量的多少，达到一个合理的冷却效果，通过循环水来冷却油（内冷却方法存在的最大缺陷是如转子内部存在气泡的话会引起转子运转不平衡，造成泵的损坏）。 蜂窝式热交换器的独特构造可以最大化的实现冷却效果，并且避免Vs1与Vs2之间的气体窜通，降低冷却效果。 为了实现最大的冷却效果必须做到： 1.返流充气迅速完成，冷却器截流作用小，导流要大。 2.冷却器对气体的热交换要充分，因此就要有尽量大的交换面积。 但是两者又是相矛盾的，必须从气体流到状态规律和热交换规律两方面进行综合考虑，进行优化选择。 当然具体来说需要考虑的因素更多：转子转速，压差，气体温度，冷却水因素，泵腔体积等等 * 常出现问题 油温高： 冷却不好，箱体油位过高，过滤器堵塞，油路堵塞，工作液不合要求 涡轮不转： 箱体油位过低，过滤器堵塞，液压泵入口漏气 轴端漏油： 油封损坏，油封没安装好，联轴器产生吸油效应（加一挡风板） 转子卡死或损坏： 冷却水问题 泵突然停机： 冷却水问题，前级泵故障导致罗茨泵出口压力过高，罗茨泵过载 真空度降低： 前级泵故障或性能变差，管道泄露 泵内杂音： 机件磨损，生产气体中有较大磨耗性颗粒进入泵体，因转子间，与泵腔间狭缝极小（一般0.1-0.2mm）加之泵长期运转存在的磨损都可能导致转子产生碰擦，产生异响。 启动顺序问题，液压调速和齿轮箱变速（有无旁通阀）的区别 泵一般应该运行一年进行一次大检修：齿轮及轴承的磨损，检查密封装置，更换密封圈，检查转子的腐蚀情况，转子结垢情况，泵腔腐蚀及结垢情况。 * 扩散泵介绍 油扩散泵是靠喷嘴高速喷射的硅油蒸汽来将气体逐级压缩至排气口，或气体分子溶入油中，等油冷凝回流被重新加热然后气体被释放到排气口，然后被前级泵带走达到抽真空的目的。扩散泵抽速快，构造简单，无机械磨损构件，无噪声污染，但存在油污染，需冷却水和前级泵 抽气范围： 10-3 to 10-7 Torr 配合液氮冷阱使用可达10-9Torr 冷阱可用极低的温度降低气体分子的能量或将其吸附在冷阱内部，实现更高的真空。 配合冷阱使用虽然 可以降低返油，但 是同时也降低了扩 散泵的抽速，比如 一个几乎可以完全 防止返油的冷阱可 以降低30%左右的 抽速，但是却可以 提高极限真空度。 * 扩散泵与分子泵的比较 扩散泵与分子泵都可以获得高真空，都不能直抽大气，都需要配备前级泵。 扩散泵：构造简单，无机械磨损构件，无噪声污染，抽速快，相对便宜，体积大，能耗高，存在油污染（配合冷阱可极大的降低返油）。 分子泵：能耗低，体积小，极限真空高，洁净泵，设计复杂，噪声大，价格昂贵。 * 油扩散泵真空系统操作注意事项 油扩散泵真空系统中任何一个阀门的误操作都会使泵收到损伤，可能使扩散泵泵油反流到真空腔室，造成污染。前级管道上的漏孔、机械泵油位高度不适当或前级管道阀门的失灵都会使前级压力超过临界值，当前级压力超过临界值时，扩散泵油就会迅速反流到真空室中。 虽然现在基本是系统的全自动控制，但有些时候扔需要手动对真空系统进行操作，比如检漏等，很多情况下泵油的返流式由设备发生故障或操作步骤不当造成的。 如扩散泵入口与高真空阀门间装有液氮冷阱，则在抽气时不要在真空室的压力高于1.0E-2Pa时给冷阱通液氮，否则将使冷阱中凝结过多的水汽。 在需要往扩散泵腔内通大气时，应提前确保泵油冷却到安全温度以下，防止高温下泵油的氧化。 防止前级压力超过临界值，这样泵油会迅速返流到真空腔室中 扩散泵应避免在15-0.1Pa的压力范围下长期工作，此时，扩散泵和粗抽泵都存在最大返流率 扩散泵工作时应经常检查泵是否有局部过热，检查冷却水温，水温过高应加大冷却水量。 扩散泵使用环境应尽量符合规定：温度低于35℃，湿度小于80%，否则泵性能会下降。 扩散泵正常工作，阀门误操作，应立即关闭高真空阀，防止泵油氧化 扩散泵停止使用期间应真空保存，冷却水用压缩空气吹干净。 * 扩散泵常见故障 极限真空变低