0.16微米LOGIC SRAM光刻工艺参数的优印化研究.docxVIP

目 目 录 摘 要 . .. . . .. .. . . . . .. . ... ... .. . .. . . . . . . . .. . .. . .. ... . . . . . . .. … … 1 A b s t r a c t . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . … … 2 引 言 . . . . .. .. . . ... ... . . . . ... .. . . . . . . . . . . .. . . . . .. .. . . . . . .. . . … … 3 第 一 节 光 刻 基 本 原 理 和 光 刻 技 术 的 发 展 .. . .. .. .. .. … … ，. … … 3 第 二 节 光 刻 技 术 的发 展 ... .. ...... … … ，......... .... .… … 12 第 三 节 本 文 研 究 的主 要 内容 和 方 向 . . .. .. .... ..... .. .....… … 16 第 二 章 工 作 区 图层 SR人M 的机 台对 准 的 匹配 问 题 . .......... . .. ...… … 20 第 一 节 对 准 方 法 和 对 准 补 偿 模 型 的 介 绍 .. . .......... .....… … 20 第 二 节 0. 16u m SR AM A C T la y e r 补 偿 模 型 量 的差 异 及 原 因 . .… … 23 第 三 节 Sc an ne r 机 台 解 决 对 准 匹 配 的 方 法 . .. . .. ... . . . . . . . … … 25 第 三 章 0 . 16um SRA材线 宽工 艺 中断 线 连 桥 缺 陷 优 化 ..... ..... .... .… … 28 第 一 节 SR八M 断线 连 桥 缺 陷介 绍 .. . .. ..... .......... .. ...… … 28 第 二 节 SR A M 区 域 断 线 连 桥 缺 陷 分 析 . . . .. . .. . .. ... . . . . . . . … … 30 第 三 节 对 于 0 . 16 umS RA M 逻 辑 电 路 晶 圆 生 产 中 的优 化 控 制 . . .… … 34 第 四章 0 . 16 um SR A M 逻 辑 电路 光 刻 胶 卫 星 缺 陷 问题 的 解 决 方 法 . .... .… … 39 第 一 节 关 于 卫 星 缺 陷 的 介 绍 . … … ，. . .. . .. . . ... . . . . . . . .… … 39 第 二 节 导 致 卫 星缺 陷 的 原 因 分 析 . .. . .. .. . ............ ...… … 40 第 三 节 解 决 卫 星 缺 陷 的方 案 . . . .. . . . .. .. . .. . ... .. . . . . . . .… … 41 结 论 . .. .. .. . . .. . .. . . .. . .. ... . . .. . . . . . . .. . .. . .... . . . . . .. .. … … 1 参 考 文 献 .. … ，. . .. . . .. . . . . . ... . . . . ... . . . .. … … ，.. .. . . . . ···… … 68 后 记 . . . .. . . . . . . . . . … … ，. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . … … 70 摘 要本 摘 要 本 文 主 要 在 典 型 的 0 . 16u m 逻 辑 电路 S RA M 工 作 区 工 艺 参 数 的 优 化 ， 主 要 针 对 目前 国 内 2 00 lllln 晶 圆 FA B 常 见 的逻 辑 电路 ，对 电路 中 的 SRA M 工 作 区 的 设 计 缺 陷 以及 工 艺 制 程 上 的缺 陷从 实 际 生产 中进 行 优 化 。 本文 主 要 针 此 产 品光 刻 工 艺 中遇 到 的三 大 问题 进 行 了研 究和优 化 ，找 到 了解 决 方 法 并 成 功 地