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3D表面粗糙度的测量方法分析 　　用于表面微观形貌分析的测量系统，按基于不同的物理原理，可将它们分为参数方法和轮廓方法。参数法所产生的参数表示所检测表面的一些平均性能；而轮廓法逐点扫描获得形貌信息。轮廓法被认为是可以测量真实的3D形貌，给出相对于位置高度的定量信息。 　　按传统的分类方式，表面测量又可分为接触式和非接触式。触针式仪器是典型的接触方法，而光学仪器是非接触式方法，扫描探针显微镜既是接触式又是非接触式。 　　1 触针方法 　　触针法自1927年以来就一直被采用，目前仍然被广泛地用于表面粗糙度测量，而且用它所获得的结果经常作为评价其它方法的参考标准。 　　在传统的2D测量中，触针装在具有滑橇的测杆上，沿一个方向在水平面上“爬行”，而且它的垂直位移是相对于滑橇的位置。滑橇“走过”的迹线作为基准线。 　　在3D分析中，在具有同一个采样步距的平行平面内，测得许多轮廓。这种情况下，不能使用滑橇，因为所有的轮廓必须具有相同的参考基准面，以便不丢失信息。严格地讲，应采用一个独立的表面作为基准。由于同样的原因，数据在获取过程中，不能象在2D仪器中那样被滤波。如果需要滤波，可以在获取数据以后进行数字化滤波。应该注意的是，对于2D仪器新的标准同样也需要一个独立的基准。 　　当用X-Y平台获取三维表面的z值时，基准由工作台的移动而产生。移动精度在整个的测量精度中起着基准的作用。有些制造者给出平台的偏差图，以便使用数字技术校正基准。 　　在2D和3D分析中，触针的几何形状对于测量的准确性影响很大，而且一直是设计和制造者考虑的重要因素之一。它的形状以锥角和顶尖球半径R表示[1]；的标准值是60°和90°，R的标准值是2、5和10m；三种半径的最大载荷分别是0.7、4、16mN。 　　针尖中心点的坐标被认为是测量表面点的坐标，但是实际的接触点根据表面邻近点的形状和高度而变化。在假定触针和表面均是刚性的情况下，触针具有一个自由度，其垂直位移仅由与表面的点接触而定义。然而，这些点的顺序不是包含在一个垂直平面内，而是依赖于表面的斜率分散在一个“带”内，测量误差是表面结构的函数。在对随机的、各向异性的结构表面进行分析时，如磨削表面，Whitehouse[2]指出用2m的半径触针并未减少表面的RMS值，而使用10m 　　一些描述表面形状的参数直接受触针的几何形状的影响，例如： 　　①针尖的半径R增加了峰的半径，而减少了谷的半径； 　　②触针加到表面上的力，在与表面接触的区域产生应变； 　　③由较硬的材料组成触针，可以忽略弹性应变，但是被测试件仍有显著的弹-塑性变形。 　　如果接触力F小于极限值FL，只有弹性变形发生，弹性偏斜的量依赖于载荷和触针的并径R，而且也依赖于表面的局部曲率半径。根据赫兹（Hertz）理论，接触区的直径是[3] 　　 （1） 　　其中 　　 （2） 　　是两种材料的弹性模量E1和E2的函数，和为两种材料的Poisson比。而且 　　 （3） 　　是曲率半径的函数。 　　文献[3]中还分析了平表面的弹-塑性材料，并且表面上具有球形针印，给出的FL值为 　　 （4） 　　s是形成球印时，材料产生的压力。 　　对于s=400MPa的材料，和Poisson比=0.3，以具有R=2m的半径的金刚石压头，可以产生FL=1.6×10-4mN，当应用的载荷高于FL时，发生塑性变形。 　　如果知道材料的硬度，有可能计算在平表面上球形压头的塑性凹痕的深度和直径d。当载荷为0.7mN、球径2m、材料硬度HB为140时，得出结果是：为0.04m和d为0.8m。如果表面不光滑，接触面积也不均匀一致。塑性凹印更大。在3D分析中，凹印的直径成了所能探测的直线之间的最小距离。事实上，在触针连续通过的路径上所产生的凹槽不应相互影响 　　表面表征需要对一个区域进行采样。可采用快速扫描记录来获得点矩阵（NX.NY），其中NX是一条轮廓上的点数，NY是轮廓的数目。采样间隔x和y根据Nyquist准则确定，截止波长可以被准确地估计。采样点数NX和NY的选择应是2的幂次数，以便能使用FFT变换。 　　图1是一种触针式三维表面形貌测量仪SURFASCAN 3D[4]，由机械装置（包括参考表面和三轴的驱动装置）、采集机构（包括装有触针的探头、驱动器、放大器和模数转换）、数据处理（包括三轴运动控制、测量方式、采样条件、参数评定和数据的贮存）和打印装置构成。机械装置和采集机构安装在一个防振动的与外界隔离的平台上。 　　图1 SURFASCAN 3D的结构示意图 　　这种仪器可以获得表面参差数据、计算参数以及用三维图表示的表面形貌，测量精度直接取决于机械驱动装置形成的参考基面的精度和直线的移动、外部的扰动等。SURFASCAN 3D的X、Y向驱动行程为100×100mm，Z向为200m