第一章常用传感器原理(5).pptVIP

第一章 本章要点 1、常用传感器的分类及其参数特点。 2、温度传感器工作原理及其结构； 3、光敏传感器工作原理及其结构； 4、压力传感器工作原理及其结构； 5、磁敏传感器工作原理及其结构； 6、气敏传感器工作原理及其结构； 7、湿度传感器工作原理及其结构； 1.6 气敏及湿度传感器 1.6.1 气敏传感器 1.6.1.1 气敏传感器概况 一、定义 ： 能够感知特定气体，并将其转换为可测 信号的传感器。 二、分类： 1、按照原理：电阻式、结型、固体电解质、接 触燃烧式。 2、从构成气体传感器材料的形态上分为干式和湿式两大类： 干式气体传感器-----利用固体感测气体的传感器。 湿式气体传感器-----利用水溶液或电解液与电极感知 气体的传感器。 1.6 气敏及湿度传感器 1.6.1 气敏传感器 1.6.1.1 气敏传感器概况 三、针对不同气体目前常用的检测方法主要有： 用半导体气体器件检测的电气法， 用电极和电解液对气体进行检测的电化学法， 用气体对光的折射率或光吸收等特性来检测气体的光学法。 这些检测方法的物理效应、化学效应等用于很多种气体传感器。 1.6 气敏及湿度传感器 1.6.1 气敏传感器 1.6.1.1 气敏传感器概况 1.6 气敏及湿度传感器 1.6.1 气敏传感器 1.6.1.1 气敏传感器概况 1.6 气敏及湿度传感器 1.6.1 气敏传感器 1.6.1.1 气敏传感器概况 1.6 气敏及湿度传感器 1.6.1 气敏传感器 1.6.1.1 气敏传感器概况 1.6 气敏及湿度传感器 1.6.1 气敏传感器 1.6.1.2 气敏传感器原理 一、表面电阻控制型气体传感器 1.6 气敏及湿度传感器 1.6.1 气敏传感器 1.6.1.1 气敏传感器原理 1.6 气敏及湿度传感器 1.6.1 气敏传感器 1.6.1.2 气敏传感器原理 一、表面电阻控制型气体传感器 原理： 半导体表面态理论认为当气体分子的亲和能半导体表面的电子逸出功时，气体从表面夺取电子而形成负离子吸附，如氧气、氧化氮。 若在N型表面形成负离子吸附，则表面多数载流子（电子）浓度减少，电阻增加。若在P型表面形成负离子吸附,表面多数载流子（空穴）浓度增大，电阻减小。 1.6 气敏及湿度传感器 1.6.1 气敏传感器 1.6.1.2 气敏传感器原理 一、表面电阻控制型气体传感器 1.6 气敏及湿度传感器 1.6.1 气敏传感器 1.6.1.3 气敏传感器类型与结构 A、SnO2系气敏元件 SnO2性能稳定，是一种N型半导体接触空气中电子亲和性大的气体（如O2和NO2等），吸附氧会束缚晶体中的电子，使表面空间电荷层的传导电子减少，器件处于高阻状态。 与被测气体（如H2、CO）接触时与吸附氧发生反应，将被氧束缚的电子释放出来，表面电导增加，使器件电阻减小。 1.6 气敏及湿度传感器 1.6.1 气敏传感器 1.6.1.3 气敏传感器类型与结构 A、SnO2系气敏元件 目前工艺最成熟的气敏元件。 常见结构为粉末烧结型，用于检测可燃的还原性气体，工作温度约300℃ 按照其加热方式，可分为直热式与旁热式两种。 1.6 气敏及湿度传感器 1.6.1 气敏传感器 1.6.1.3 气敏传感器类型与结构 A、SnO2系气敏元件 （l） 直热式SnO2气敏元件----又称内热式器件 1.6 气敏及湿度传感器 1.6.1 气敏传感器 1.6.1.3 气敏传感器类型与结构 A、SnO2系气敏元件 （2） 旁热式SnO2气敏元件 1.6 气敏及湿度传感器 1.6.1 气敏传感器 1.6.1.3 气敏传感器类型与结构 A、SnO2系气敏元件 （3）薄膜型SnO2气敏元件 优点： ①用丝网印刷技术由浆料制备而成，机械强度、一致性都较好 ②与厚膜混合IC工艺较好相容，可与阻容元件制作在同一基片上，用微组装技术与IC芯片组装在一起，构成具有一定功能的器件。 结构：由基片、加热器和气体敏感层三部分组成，如图。 1.6