第三章位移的检测.ppt

课本P58-67）数字位移传感器 和物位的检测为阅读材料。 液位限位传感器的设定 智能化液位传感器的设定方法十分简单： 用手指压住设定按钮，当液位达到设定值时，放开按钮，智能仪器就记住该设定。正常使用时，当水位高于该点后，即可发出报警信号和控制信号。 设定按钮 智能化液位限位传感器的设定按钮 超限灯 正常工作指示灯 设定按钮 电源 指示灯 叶轮式流速计、流量计 运算放大器式转换电路(附加内容，可不讲） 电路输出电压与动极板的机械位移d（即板极间距）成线性关系，这从原理上解决了采用单个变间隙式电容传感器输出特性的非线性问题。 C/f转换电路(附加内容，可不讲） 电容式传感器的其他应用 电容式传感器应用广泛，可以直接测量的非电量有:直线位移、角位移和介质的几何尺寸等。直线位移与角位移可以是静态的也可以是动态的，例如可以测量直线振动和角振功。用来测量金属表面状况、距离尺寸、振幅时，一般采用单极变间隙式电容传感器，将被测物作为传感器的一个极板。在测量压力时，必须先将被测参数转换成电容的参数变化，如可用弹性件先将压力转换成电容间距的变化。变介电常元数式电容传感器常用于液位测量和温度湿度测量。 硅微加工加速度传感器 加速度测量 硅微加工加速度传感器 加速度测量 人体接近探测 电涡流涂层厚度仪 涡流式传感器 测量金属镀层或绝缘层厚度 涡流式传感器 5、电涡流式通道安全检查门 安检门的内部设置有发射线圈和接收线圈。当有金属物体通过时，交变磁场就会在该金属导体表面产生电涡流，会在接收线圈中感应出电压，计算机根据感应电压的大小、相位来判定金属物体的大小。在安检门的侧面还安装一台“软x光”扫描仪，它对人体、胶卷无害，用软件处理的方法，可合成完整的光学图像。 涡流式传感器 手持式裂纹测量仪 油管探伤 涡流式传感器 滚子涡流探伤机 滚子涡流探伤机是由计算机控制的轴承滚子表面微裂纹探伤的专用设备，可探出深 30μm的表面微小裂纹。 涡流式传感器 用掌上型电涡流探伤仪检测飞机裂纹 涡流式传感器 台式电涡流探伤仪 涡流式传感器 3.3 电容式传感器 结论 物体间的电容量与其结构参数密切相关。 电容式测量 利用被测量的变化去改变电容的结构参数，从而改变物体间的电容量，通过测量电容来实现对被测量的检测。 电容式传感器 利用电容式测量原理实现的传感器称为电容式传感器。 电容式传感器 优点：测量范围大、灵敏度高、结构简单、适应性强、动态响应时间短、易实现非接触测量等。 应用：压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成分含量等测量之中。 3.5.1 电容式传感器的工作原理和结构 用两块金属平板作电极可构成电容器，当忽略边缘效应时，其电容C为 S—极板相对覆盖面积； δ—极板间距离；εr—相对介电常数； ε0 —真空介电常数，ε0 ＝8.85pF/m； ε —电容极板间介质的介电常数。 S δ ε 上式中，哪几个参量是变量？可以做成哪几种类型的电容传感器？ δ、S和εr中的某一项或几项有变化时，就改变了电容C0。δ或S的变化可以反映线位移或角位移的变化，也可以间接反映压力、加速度等的变化；εr的变化则可反映液面高度、材料厚度等的变化。 三种基本类型： 变极距(变间隙)(δ)型 变面积型(S)型 变介电常数(εr)型 1. 变极距型电容传感器 平行板电容器的ε和S不变，只改变电容器两极板之间距离d。该类型传感器常用于压力的测量。 设初始极距为，当动极板有位移，使极板间距减小值后，其电容值变大。C0为初始电容值。 电容量Cx与位移x不是线性关系。其灵敏度不为常数 为了提高传感器灵敏度，减小非线性误差，实际应用中大都采用差动式结构。 如图示(1为动片、2为定片)，中间电极若受力向上位移Δd，则C1容量增加，C2容量减小，两电容差值为： 电容传感器做成差动型后之后，灵敏度提高一倍。 得到： 2. 变面积型传感器 变面积式差动电容结构原理图 图（a）所示平板形位移x后，电容量由初始值变为： 电容量变化： 灵敏度为： 圆柱形电容式位移传感器，图（b），设内外电极长度为L，起始电容量为C0，动极向上位移y后，电容量变为Cy： 电容量变化 ： 灵敏度为 ： 对于角位移传感器，如图，设两片极板全重合（θ=0）时的电容量为C0，动片转动角度θ后，电容量变为： 电容量变化： 灵敏度为：