扫描电镜知识第一、二章(中科大).pptVIP

扫描电子显微分析技术 2010年3月 扫描电镜的应用范围 1、金属、陶瓷、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、 农作物和化工产品的显微形貌、晶体结构和相组织的观察与分析。 2、各种材料微区化学成分的定量检测。 3、粉末、微粒、纳米样品形态观察和粒度测定。 4、机械零件与工业产品的失效分析。 5、镀层厚度、成分与质量评定。 6、刑侦案件物证分析与鉴定。 7、新材料性质的测定和评价。 8、在生物、医学和农业等领域也有广泛的应用。 扫描电镜的特点 扫描电镜分辨率高 放大倍率宽 图像景深好 样品制备简单 综合分析能力强 在很多领域得到广泛应用。 1、扫描电镜分辨率高 2、放大倍率宽 放大倍率可从几倍到几十万倍 扫描电镜的放大倍率M=L/l L是荧光屏的长度，l 是样品实际扫描的长度 3、图像景深好 放大几千倍图像的景深为几十微米，放大几万倍图像景深为几微米。 4、样品制备简单 块状样品、粉末状样品、纤维状样品、生物样品、薄膜样品等等均可观察。 5、综合分析能力强 扫描电镜的样品室较大，可选用多种附件，对样品进行综合分析。如：背散射附件（BSE）、能谱附件（EDS）、波谱附件（WDS）、阴极荧光附件（CL）、背散射电子衍射花样附件（EBSD）、拉伸台、加热台、冷台、扫描透射附件、四探针等等。 获取样品的形貌、成分及分布、晶体结构、物性等信息。 昆虫 背散射电子衍射花样图 单根Pt纳米柱性能测量 小结 显微镜是一种放大工具，可以把微观世界展现到人眼分辨率可以接收的程度。显微镜分辨率是最重要的指标，受到照明光源波长的限制，波长越短，分辨率越高。电子显微镜就是源于这个理念，利用波长极短的高能电子束代替可见光作为照明源，与电磁透镜组合，构成高分辨率和高放大倍率的成像系统。 扫描电镜分辨率高、放大倍率宽、图像三维效果好、样品适用面广，并有很强的综合分析能力，在多个领域得到了广泛的应用。 二：电子光学知识初步介绍 电子枪 热电子枪由阴极、栅极和阳极组成。阴极为负电位，发射热电子；栅极为负电位，比阴极电位还负；阳极为正电位，加速热电子。这三极形成复合场，起到聚焦作用，从而在栅极和阳极之间形成一个截面直径d0发散角为a0的交叉束斑。 常规型 ： 分辨率： 3nm 加速电压： 几千伏~几十千伏 钨灯丝 发射效率低，发射面积较大（约 100μm）亮度为105，寿命较短 六硼化镧灯丝 亮度和电子源直径比钨灯丝要好，约20μm，亮度为106，但要求较高的真空 场发射电子枪： 冷场发射：阴极在室温和高真空环境中，完全由于高压电场产生的电子发射过程。冷场发射的W单晶是310取向，310取向的逸出功最小：4.2eV。 优点： 冷场发射的电子束直径小、发射电流密度高，亮度为108，能量扩展优于热场发射，冷场分辨率略高于热场发射SEM，特别是低压，由于色散小提高了分辨率。 缺点： 束流不稳定，随着时间延长，灯丝上会吸附气体分子，导致发射电流降低,需要做flash，发射面积较小, 可配EDS和灵敏度高的EBSD ，对WDS、CL等不佳 肖特基场发射电子枪 肖特基场发射：在高真空环境中，用高压电场和高温使阴极尖端产生的电子发射过程。 肖特基场发射阴极要加热到约1580℃。肖特基场W阴极单晶尖端为100取向，表面有一层氧化锆，以降低电子发射的功函数。钨尖常年加热，氧化锆层会消耗，通常2年需要更换。 优点： 束流大（亮度为108 ）、束流稳定、 可以连续工作。一般半导体工厂在线检测都用热场发射SEM。 多功能分析：可配EBSD、WDS、EDS、CL等附件。 SEM中的磁透镜 SEM中的磁透镜用作聚光镜、物镜，就是将cross-over的电 子像缩小为样品上的最终 束斑直径（1-20nm）。 SEM中使用的电磁 透镜，产生的是轴旋转 对称的非均匀磁场，形 成会聚场。 电子光学系统中的象差 有效束斑直径 dP=(dG2+dS2+dC2+dd2) ? ds是球差、dc是色差、dd是衍射差 扫描电镜中几种物镜的设计 小结 电子光学系统的设计，要保证电子束的尺寸尽可能的小，且能获得最大亮度。透镜要求有极小的象差。但是透镜成像均有缺陷，这就是象差的概念。电磁透镜主要有球差、色差、衍射差、象