真空的获得与校准.docxVIP

中山大学实验报告：真空的获得、测量和校准 实验人：yxy 日期：2012.10.8 10.15 一、【实验目的】 1.熟悉真空技术的基本知识。 2.用膨胀法校准热偶式真空计。 二、【实验仪器】 高真空实验系统（由扩散泵、机械泵、U型真空计等部分组成，如图1所示）、阴极电离真空计、热电偶真空计。 图1 膨胀法校准热偶式真空计高真空系统图 三、【实验内容】 1. 真空的获得与测量。 2. 静态膨胀法校准热偶式真空计。 四、【实验原理简概与补充】 1、常用真空泵的分类 （1）旋片式机械真空泵：通过周期性地增大或减少泵内空腔的容积，膨胀时与进气口相通，压缩时又正好与排气口相接，使被抽气体不断地流经泵内并排出泵外，从而获得真空。通常单级泵的性能较差【1】，它的残余气体分压强为1帕~5× （2）油扩散泵：其工作原理是利用气体扩散现象来抽气。泵油在真空中加热至沸腾，将会产生大量的油蒸汽。油蒸汽沿蒸汽导管分送到各级喷嘴，再通过各级喷嘴向外喷射出来，形成一个高速定向密集的稳定蒸汽流。由于扩散泵进气口上方被抽气体的分压强高于蒸汽流中该气体的分压强，这样，在分子流状态下，被抽气体分子将源源不绝地扩散到蒸汽流中，同具有较高能量的超音速的蒸汽流分子相碰撞，在碰撞过程中发生能量交换，驱使被抽气体分子沿蒸汽流方向高速运动。经过逐级压缩后，就使原来体积较大、压强较低的气体变成体积较小、压强较高的气体。从各个喷嘴喷出的高速油蒸汽流如同一道屏障，把真空端（入口）和低真空端（出口）隔开，从而能有效地组织高压强气体返回到高真空端，最后由前级真空泵抽走，并沿着泵壁流回到油锅中，再重新被加热变成蒸汽。这样，在泵内就形成了油蒸汽的循环，保证了油扩散泵连续不断地工作。普通油扩散泵的极限压强一般可达5×10 真空计 （1）U型管真空计：也就是U型压强计，利用连通的两端的液面高度差直接测量，是绝对真空计。测量精度约为10-1 （2）热电偶真空计：利用气体的热传导系数随压强改变的关系来测量真空度，是相对真空计。而由于热电动势与压强的关系很难通过计算求出，故需要绝对真空计来校准获得该特性曲线。热电偶真空计的测量范围一般为1~10 （3）阴极电离真空计：其工作原理是首先由灯丝发射的电子使气体分子电离，把离子收集起来，通过灵敏而稳定的电路予以放大，再由电表直接指示出压强的值，也属于相对真空计，因此电离真空计与热电偶真空计一样都需要绝对真空计来校准。 膨胀法校准热偶真空计 热偶真空计必须经过校准才能有正确的指示值，图2是膨胀法校准热偶真空计的原理示意图 图2 热膨胀法原理示意图 利用理想气体状态方程PV=nRT，在近似条件温度T不变的情况下，可做下述近似推导： 每次转动旋柄时，就可以时阀芯侧壁上的小孔，按需要而接通左方的稳压室，取样室内便取得与稳压室相同的气体压强（假设取样室体积为V0、气体压强为P0），然后转向右方的膨胀室，取样室内的气体便向压强低的膨胀室中膨胀。稳压室的容积相对于取样室来说是很大的，保证连续取样10~20次的过程中，压强变化可以忽略才符合稳压的目的。假定膨胀室已经是真空的，其极限压强就是Px,其容积为V,取样室体积为V0,则当取样室第n次接通膨胀室时，若膨胀室本底压强Px较小可以忽略，通过简单的推导并忽略二次方以上的小项后可得此时膨胀室的压强为: 如果Px较大，则（1）式可以写成：Pn=nV0VP0 五、【实验技术】 真空系统是由各类真空泵、真空计以及真空阀等组合的总称，为使膨胀室获得较高的真空度，必须使用扩散泵为后级泵，以机械泵为前级泵的高真空系统。 图3 高真空系统 六、【实验步骤】 1、转动三通阀B使其不通大气也不通扩散泵，开机械泵，转动A通向膨胀室。五分钟后关闭A阀，再转动B阀通扩散泵，接通扩散泵加热电炉并开冷水龙头。 2、当泵口形成油浪，即扩散泵已经开始工作时，开C阀，开热偶真空计，当膨胀室真空度Pe-1Pa,才允许开电离真空计。 3、转动E阀通向稳压室，再缓慢转动D阀向稳压室充入P0 4、当膨胀室真空度为e-3托方可做校准实验。 a）记下Px ,关C阀（此时待校准的热偶式真空计已打开，读数满偏。） b) 关电离真空计，转动取样室阀门F从稳压室取样转到膨胀室膨胀（n=1），10~15秒后记下待校正的热偶真空计读数X1,接着又从稳压室到膨胀室转动F阀（n=2），10~15秒后记下待校正的热偶真空计读数X2……如此反复直至读数小于7.8mv。 5、a）开C阀对膨胀室抽气。 b) 开H阀后关闭，缓缓转动D阀使稳压室充入P0 c) 当膨胀室真空度为e-3托时，再做校准实验，直至读数小于3mv。 6、抽走实