X射线光电子能谱分析讲课教案.pptVIP

X射线光电子能谱分析（XPS）X-ray Photoelectron Spectroscopy;主 要 内 容;X射线光电子能谱（ XPS ，全称为X-ray Photoelectron Spectroscopy）是一种基于光电效应的电子能谱，它是利用X射线光子激发出物质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行能量分析而获得的一种能谱。 这种能谱最初是被用来进行化学分析，因此它还有一个名称，即化学分析电子能谱（ ESCA，全称为Electron Spectroscopy for Chemical Analysis）; 光电效应 具有足够能量的入射光子(hν) 同样品相互作用时，光子把它的全部能量转移给原子、分子或固体的某一束缚电子，使之电离 。;X射线起源于轫致辐射，可被认为是光电效应的逆过程，即： 电子损失动能 ? 产生光子(X射线); 电子能谱法：光致电离 A + h?? A+* + e; 光子的一部分能量用来克服轨道电子结合能( EB)，余下的能量便成为发射光电子(e - ) 所具有的动能 ( EK)，这就是光电效应。用公式表示为： Ek = hν- EB –Ws 结合能( EB)：电子克服原子核束缚和周围电子的作 用，到达费米能级所需要的能量。 ;1、XPS谱图分析中原子能级的表示方法 XPS谱图分析中原子能级的表示用两个数字和一个小字母表示。例如:3d5/2 第一个数字3代表主量子数(n) , 小写字母代表角量子数 ; 右下角的分数代表内量子数 j l—为角量子数，l = 0, 1, 2, 3 ……, ;注意: 在XPS谱图中自旋－轨道偶合作用的结果，使l不等于0（非s轨道）的电子在XPS谱图上出现双峰，而S轨道上的电子没有发生能级分裂，所以在XPS谱图中只有一个峰。 ;2、化学位移 1. 定义 由于化合物结构的变化和元素氧化状态的变化引起谱峰有规律的位移称为化学位移 2. 化学位移现象起因及规律 （1）原因 内层电子一方面受到原子核强烈的库仑作用而具有一定的结合能，另一方面又受到外层电子的屏蔽作用。因而元素的价态改变或周围元素的电负性改变，则内层电子的结合能改变。;例：三氟乙酸乙酯 4个碳元素所处化学环境不同，与元素电负性的关系 电负性：FOCH ;三、光电子能谱仪实验技术;电子能谱仪通常采用的激发源有三种：X射线源、真空紫外灯和电子枪。商品谱仪中将这些激发源组装在同一个样品室中，成为一个多种功能的综合能谱仪。;1．Ｘ射线激发源 XPS中最常用的X射线源主要由灯丝、栅极和阳极靶构成，要获得高分辨谱图和减少伴峰的干扰，可以采用射线单色器来实现。 X射线源的主要指标是强度和线宽，一般采用K?线，因为它是X射线发射谱中强度最大的。在X射线光电子能谱中最重要的两个X射线源是Mg和Al的特征K?射线. ;2. 电子能量分析器 （1）作用：探测样品发射出来的不同能量电子的相对强度。它必须在高真空条件下工作，压力要低于10-5帕，以便尽量减少电子与分析器中残余气体分子碰撞的几率。 （2）类型 ;半球型电子能量分析器 改变两球面间的电位差，不同能量的电子依次通过分析器，分辨率高；;筒镜式电子能量分析器 同轴圆筒，外筒接负压、内筒接地，两筒之间形成静电场； 灵敏度高、分辨率低；;3. 检测器 用电子倍增器检测电子数目。电子倍增器是一种采用连续倍增电极表面的静电器件，内壁具有二次发射性能。电子进入器件后在通道内连续倍增，增益可达 109 ;1、减少电子在运动过程中同残留气体分子发生碰撞而损失信号强度。; ;6、XPS谱图的表示 （1）. XPS谱图的表示 横坐标：动能或结合能，单位是eV，一般以结合能为横坐标。 纵坐标：相对强度（CPS）。 结合能为横坐标的优点： 结合能比动能更能反应电子的壳层结构（能级结构） 结合能与激发光源的能量无关 ;（2）谱峰、背底或伴峰 谱峰：X射线光电子入射，激发出的弹性散射的光电子形成的谱峰，谱峰明显而尖锐。 背底或伴峰：如光电子(从产生处向表面)输送过程中因非弹性散射(损失能量)而产生的能量损失峰，X射线源的强伴线产生的伴峰，俄歇电子峰等。;（3）XPS峰强度的经验规律 主量子数小的壳层的峰比主量子数大的峰强； 同一壳层，角量子数大者峰强； n和l都相同者，j大者峰强。;四、X射线光电子能谱的应用;3.固体表面分析。包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定