大型环抛面形实时监测与控制-强激光与粒子束.pdf

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２４ ２ Ｖｏｌ．２４ Ｎｏ．２ 　 　 年 月 ， ２０１２ ２ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｆｅｂ． ２０１２ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１２０２０３９９０４ 　 大型环抛面形实时监测与控制 欧光亮， 杨李茗， 王 琳， 何曼泽， 刘义彬 　 　 　 　 　 （成都精密光学工程研究中心，成都 ６１００４１） 摘 要： 为解决大型激光驱动器建设中的关键工艺大型精密环形抛光技术一直存在着的控制困难、精度 　　 　 　 收敛不稳定的难题，分析了环形抛光加工中面形调整控制机理和本质，找到了传统调节控制和判断方法中的缺 陷，提出了一种对环抛机面形变化基本实时的离线监测方法。这种监测方法具有结构简单、检测判断时间短和 面形变化反应直观的优点。通过建立实验监测装置和实际加工验证，获得了较好的面形趋势判断和实时控制 效果。 关键词： 光学制造； 面形监测； 环抛机； 关键参数 　　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＮ２４８ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ０３９９ 　　 　 　　　　 　 　　 高功率巨型激光装置常采用大量高精度大口径和超大口径的平面光学元件。大口径高精度的平面光学元 　　 件经过成型、精磨和初抛工序后，一般都采用环形抛光（环抛）或者环抛与数控的组合加工来完成最终的精密抛 ［］ １ 光 。一直以来，环抛工序始终是大口径平面光学元件冷加工流程线中的瓶颈，其制造成本和工时均占整个制 造流程的５０％以上，加工结果基本决定了光学元件的质量，因而环抛工序成为大口径平面光学元件生产流程 线的关键工序。目前，国内大型环抛机的加工控制手段比较落后，主要表现在设备可调节和控制的参数比较 少，设备调节参数与生产质量之间的关系不够明确。如何有效增加实时监控手段，打通平面光学元件生产流程 线瓶颈，实现环抛加工过程特性的实时监控，是确保国家工程建设的关键问题之一。美国ＬＬＮＬ在解决 ＮＩＦ 大口径平面光学元件加工质量与效率的问题上，与主要供货商一起改进了质量控制的方法，采用具有较高的确 定性加工过程、先进的检测技术以及系统控制方法，在大口径高精度平面元件加工方面，不仅改进了制造设备， ［］ ２ 还采用了新的实时诊断方法和检测手段，并实现了计算机的人工智能计算来保证加工过程关键参数 。本文 通过建立对环抛关键参数 校正盘面形的在线间接检测能力，并通过分析和重复性实验，找到了制造过程参数  与关键参数的关系，并已用于环抛加工，提高了加工效率和生产稳定性，缩短了光学元件在线加工时间，取得了 良好的应用效果。 １ 原理分析和制造过程参量辨识