薄膜太阳能生产工艺流程.ppt

* 太阳能光伏发电系统 切换器 太阳能电池方阵：将光能转换成电能 充放电控制器：能自动防止蓄电池过充电和过放电的设备 蓄电池组：是储存太阳能电池方阵受光照时发出的电能并可随时向负载供电 逆变器：是将直流电转换成交流电的设备 太阳能电池方阵 控制器 逆变器 负载 蓄电池组 电网 各生产工序工艺、水电气、原材料和主要数 * CONTENT ID MARKER(E01) INITIAL CLEANER（E03） AOI（E04） MOCVD IN LINE（E05） PATTERN1（E06） DI WET CLEANER（E07） RMS（E08） PECVD-PIN（E09-E10） MOCVD –BACK ZnO（E11） PATTERN2 (E16) DRY CLEANER (E17) SPUTTER(E18) PATTERN3 (E19) PATTERN4 (E20) * CONTENT EDGE DELETION(E22) MODULE （M1-1 to M1-4-1） MODULE（M2-1 to M2-6) MODULE(M2-7 to M3-5) MODULE(M4-1 to M7-3) MODULE (M8-1 to M12-2) MODULE(M13-1 to M13-4) * ID MARKER身份标识（E01） 基本原理 ID=IDENTIFICATION(身份证，标识符） 用Laser光线在Glass内部刻印一串号码/文字/条形码。 Laser Head安装在Conveyor System下部采用背面刻印。 Scanner Head安装在Conveyor System上部，用于监控刻印。 所需原材料 GLASS 所需UTILITY POWER CDA 主要参数RECIPE WAVELENGTH : 355NM Lens focal length 50mm Marking field 20mm×20mm WARM UP TIME : 20MIN COOLING WATER-AIR : +15℃ TO +40℃ Glass的定位 Loading Marking Scanner Data传送 Unloading * INITIAL CLEANER初次清洗（E03） 基本原理 DET ROLL BRUSH:用毛刷配合清洗剂来除去玻璃板表面比较大的Particle。 BJFR: Bubble Jet Final Rinse:使用高压的CDA和DIW在NOZZLE内部混合s形成水珠， 水珠通过高速气体流动进行加速并分散， 最后通过此流体的冲击来清除玻璃上的异物。 AIR KNIFE：用高压的CDA来 吹扫玻璃表面水份，使其表面干燥。 In Conveyor DET Roll Bush BJFR Air Knife Out Conveyor 所需原材料 Detergent(主要成份KOH） 所需UTILITY POWER PCW，CDA，DI，Recovery Drain, Genaral Exhaust, 主要参数RECIPE Brush Speed （300~400rpm） Detergent Temperature (40 ±5 ℃) * AOI自动光学检测（E04） 基本原理 AOI=Automated Optical Inspection自动光学检验 人认识物体是通过光线反射回来的量进行判断，反射量多为亮，反射量少为暗。AOI与人判断原理相同。 AOI通过人工光源LED灯光代替自然光，光学透镜和CCD Camera 代替人眼，把从光源反射回来的量与已经编好程的标准进行比较、分析和判断。 所需原材料 所需UTILITY POWER CDA 主要参数RECIPE * * INLINE MOCVD （E05） 基本原理 TCO = Transparent Conductive Oxide (透明导电氧化物) MOCVD=Metal Organic Chemical Vapor Deposition(金属有机物化学气相沉积） 化学反应：DEZ + H2O ? ZnO 1， DEZ+2H2O ?Zn(OH)2+2C2H6 2，Zn(OH)2 ?ZnO+H2O ZnO Doping B: 增加导电性 Thickness of TCO layer：Trade-off between transparency and conductivity Crease average light path in the absorber layer Haze = DT