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Wuxi CSMC-HJ Semiconductor Co., Ltd. 无锡华晶上华半导体有限公司 12 FSI 清洗机培训教材 目 录 FSI清洗机介绍： FSI组成及结构功能： 软件操作介绍： 程序以及输出功能： 流量控制： Chemical Auto fill功能介绍： 常见故障以及维修方法： FSI清洗机介绍 FSI用途：FSI用于圆片的表面清洗系统，可以去除颗粒、金属离 子以及剥离部分氧化膜； FSI设备全称： MERCURY MP Surface Condition Division System， FSI公司早期的Spray System Product； FSI工作原理：在密封的Chamber中,圆片对称放在Turntable 上，在Turntable的旋转的同时利用N2把Chemical形成高雾化或者低雾化喷洒在圆片表面，有两个喷嘴：Spray post 和 Side-bowl spray post，达到去除颗粒、金属离子以及剥离部分氧化膜的目的，然后用DI Water 冲洗圆片表面，最后通过Turntable的高速旋转（500 rpm）以及N2 Purge来使圆片的表面干燥。 FSI用到的原料：主要有5种Chemical:H2SO4，HCL，HF，NH4OH，H2O2；还有DI Water（去离子水）、 N2和CDA（压缩空气）。 FSI常用