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硅光子芯片外腔窄线宽半导体激光器-中国光学.pdf

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    第卷第期中国光学年月文章编号硅光子芯片外腔窄线宽半导体激光器杜悦宁陈超秦莉张星陈泳屹宁永强中国科学院长春光学精密机械与物理研究所发光学及应用国家重点实验室吉林长春中国科学院大学北京摘要随着超高速光互连相干光通信相干检测等技术的不断发展对激光光源的线宽相频噪声可调谐性和稳定性等都提出了更为严格的要求利用基于工艺的硅光子芯片与半导体增益芯片各自的优势将二者准单片集成实现结构紧凑低功耗和高稳定性的窄线宽半导体激光器成为近年的研究热点该结构可通过微环谐振器环形反射镜和马赫曾德干涉仪等提供光反馈压窄线宽并

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