第五章2电子探针显微分析.pptVIP

第五章 电子探针显微分析;5.2 电子探针显微分析;5.2.1 电子探针的分析原理和构造;镜筒和样品室部分与SEM相同。 信号检测系统是X射线谱仪，对微区进行化学成分分析； 波长分散谱仪或波谱仪（WDS），用来测定特定波长的谱仪； 能量分散谱仪或能谱仪（EDS），用来测定X射线特征能量的谱仪;5.2.2 X射线谱仪;1. 波谱仪结构及工作原理;;上述平面分光晶体使谱仪的检测效率非常低，表现在：? 固定波长下，特定方向入射才可衍射? 处处衍射条件不同 要解决的问题是：? 分光晶体表面处处满足同样的衍射条件? 实现衍射束聚焦 ;把分光晶体作适当的弹性弯曲，并使X射线源、弯曲晶体表面和检测器窗口位于同一个圆周上，就可以达到把衍射束聚焦的目的。该圆称为聚焦圆，半径为R。 此时，如果晶体的位置固定，整个分光晶体只收集一种波长的X射线，从而使这种单色X射线的衍射强度大大提高。 Johansson型聚焦法：衍射晶面表面的曲率半径为R，即晶体表面磨制成和聚焦圆相合。全聚焦法 ;（2）波谱仪的形式;如图示，分光晶体位置沿直线运动时晶体本身产生相应的转动，从而使?和?满足Bragg条件。 在O1圆上 L1 — 点光源和分光晶体距离，在仪器上读取 R — 已知，可求得? ，即可求得?1 ;;;2. 能谱仪结构和工作原理;;3. 能谱仪和波谱仪的比较;当特征能量?E的X射线光子由S