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微系统的工作原理 王文廉 微型惯性传感器 定义：利用MEMS技术制作的，把加速度、角速度转换为电信号输出的器件，包括加速度计和陀螺。 微型惯性传感器有多种检测原理，如：压阻、电容、压电、真空微电子、隧道效应等。 需求 基本物理原理 F=ma 读出技术 压阻效应 压电效应 热效应 电容效应 电感效应 谐振效应 隧穿效应 光学效应 1. 1 压阻式微型加速度计 压阻式加速度计利用质量块把加速度的变化通过支撑臂的应力变化转换成电阻值的变化，再经相应的测量电路测出被测量值的变化。 压阻式加速度计基本公式 压阻式微型加速度计例 压阻式微型加速度计的特点 优点：制作工艺较简单，检测电路简单，易于获得较大的质量块和高g值； 缺点： 温度稳定性较差。 1. 2 电容式微型加速度计 利用质量块把加速度的变化转换成电容电极间极距的变化，一般采用差分结构。 不同的电容测量方式 电容式加速度计基本公式 从制作工艺上，电容式微型加速度计可分为两类：表面工艺微型加速度计和体硅工艺微型加速度计。 电容式微型加速度计例 电容式微型加速度计的特点 优点：稳定性好、灵敏度高、适用温度范围广。 缺点：对电路要求较高。 体硅工艺加速度计能达到高g值量程，其缺点是不便于与电路集成； 表面工艺加速度计制作简便、成本低、适合于与电路集成，但难于实