第四章表面分析方法.pptVIP

* HNU-ZLP * * HNU-ZLP * Microwear on PEEK by AFM * HNU-ZLP * Red blood corpuscle DFM mode (8μm x 8 μ m) DNA DFM mode (500nm x 500nm) Imaging of biological samples Living Chromosome DFM mode (16 μ m x 16 μ m) * HNU-ZLP * SPM对样品表面各类微观起伏特别敏感，即具有优异的纵向分辨本领，其横向分辨率也优于透射电镜及场离子显微镜。 各种显微镜的主要性能指标如下表： * HNU-ZLP * 显微镜 类 型 分辨本领 工作条件 工作温度 样品损伤 分析深度 人眼 0.2mm 光学显微镜 0.2?m SEM（二次电子） 横向：6nm 高真空 低温、室温、高温 轻微损伤 1?m 纵向：较低 TEM 横向：点3～5 ?，线1～2 ? 高真空 低温、室温、高温 中等程度损伤 1000 ? (样品厚度） 纵向：很差 FIM 横向：2 ? 超高真空 30~80K 严重损伤 1个原子层 STM 横向：1 ? 空气、溶液、真空 低温、室温、高温 无损伤 1~2个原子层 纵向：0.1 ? * HNU-ZLP * 二、扫描隧道显微镜（STM) * HNU