第二篇电子显微分析.ppt

第二篇 电子显微分析术 2.1 电子显微镜中的电子光学问题 2.2 透射电子显微镜的结构 2.3 电子衍射 2.4 金属薄膜成像 2.5 复型 2.6 扫描电子显微分析 2.1 电子显微镜中的电子光学问题 2.1.1光学显微镜的局限性 分辨本领: 指光学仪器所能区分的两相邻物点之间最小距离 ?r0越小，表示能分清物体的细节越细，分辨本领越好。 2.1.1光学显微镜的局限性 可见光的波长在3900~7600埃，则其极限分辩率为2000埃 半波长是光学玻璃透镜分辨本领的理论极限 2.1.2 电子性质 高速运动的电子所具有的动能: 电子波是物质波的一种: 其中：h=6.62×10-34焦耳·秒 e=1.60×10-19库仑 m0=9.11×10-31千克(电子的静止质量) 2.1.2 电子性质 电子的波长： 注 意 光波波长4000~8000?. 电子波长是光波长的10万分之一 由 得: 电子显微镜的理论分辨率 ~0.02?， 电子显微镜的实际分辨率 ~2?（1.0-2.0?） 原因: 电子透镜不完善，有像差（球差、色差、像散） 电子透镜孔径角之半 ?~ 0.01弧度（ sin?≈10-2） 2.1.3