钛锆铪氧化物镀膜材料及其薄膜应用.docVIP

第二 第二届中国锆铪行业大会文集 钛锆铪氧化物镀膜材料及其薄膜应用 王星明段华英张明贤储茂友张碧田 (北京有色金属研究总院 北京 1 00088) 摘要：分别介绍了钛锆铪氧化物镀膜材料性能及在光学和其它领域的薄膜应用，并对市场状况进行了 评估。 钛锆铪的氧化物都具有高折射率、低的光吸收及良好的透过性能，因此在光学、光电学方面钛锆铪的 氧化物应用广泛。此外，由于它们还具有其它一些独特的物理化学性能，使得钛锆铪氧化物薄膜在微电子 学、磁学、量子工程、表面工程等方面得到广泛应用。 一、钛锆铪氧化物镀膜材料基本性能 1)光学性能 表1是氧化钛、氧化锆、氧化铪的光学性能，可见这三种薄膜都是在可见光波段有着高透过率、高折 射率，氧化钛、氧化锆在紫外区有着强烈吸收，氧化铪在200nm以上波段都表现出良好的透过性能。 表1 氧化钛、氧化锆、氧化铪的一些典型光学性能 材料 密度(g／cm3) 折射率(500nm处) 透射波段(nm) TjO： 4．24 2．3 400～12000 Zr02 5．56 2．05 300——8000 HfO： 9．7 2．O 200～12000 2)纯度 表2是氧化钛、氧化锆、氧化铪材料典型纯度及杂质含量分析，表3是各种杂质氧化物在可见波段的 光学性能。 表2氧化钛镀膜材料的典型杂质含量，单位：ppm(max) Fe Pb Al Cu Ni C