3集成电路中的无源元件.pptVIP

*;*;*;*;*;*;*;;;*;*;*;*;*;*;*;(1)设计规则决定的最小扩散条宽 WR,min 设计规则是从工艺中提取的、为保证一定成品率而规定的一组最小尺寸。 这些规则主要考虑了制版、光刻等工艺可实现的最小线条宽度、最小图形间距、最小可开孔、最小套刻精度等。 在设计扩散电阻的最小扩散条宽时，必须符合设计规则。;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*; LD为源漏扩散时横向扩散量。 主要用来做存储器存储单元的负载电阻。;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*