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3.3 涡流式传感器 一、工作原理 二、转换电路 三、应用举例 1.位移测量 2. 振幅测量 3.厚度测量 * * 1、电涡流 通过金属导体的磁通发生变化时,会在导体中产生感应电流,通常就称之为电涡流。 电涡流传感器即基于电涡流效应制成的。可实现非接触测量。分为高频反射和低频透射式。 线圈通以交变电场产生电涡流后,电涡流会产生一个新磁场,这个新磁场会抵消部分原磁场,使线圈的有效阻抗发生变化。通常涡流区与线圈比例尺寸有一定关系。 2、转换原理(高频反射式) 涡流式传感器可分为高频反射和低频透射式 一般讲,线圈的阻抗变化与导体的电阻率、磁导率、激励电流频率、线圈到被测导体间的距离有关。若控制其中一个参数改变,其余参数不变,则阻抗就成为这个参数的单值函数。比如线圈到被测金属导体间的距离。 可得其等效电阻、等效电感 线圈可看作变压器初级线圈L1,涡流回路可看作次级L2,它们之间有一个互感系数M,M取决于金属导体与线圈之间的距离x。 简化图如图,有下式 结论: 1、桥路 Z1、Z 2为传感器线圈阻抗 (可以是差动结构的传感器线圈,也可以一个为传感器线圈,另一个为固定线圈) C1、C2与线圈并联,用以调整相位关系。 R1、R2为电桥另两个桥臂。 2、谐振调幅电路 平衡时,工作于谐振频率上,接近金属导体时,电路失谐导致阻抗变化、输出电压也改变,即L随X变化,电压也随X变化。该电压经放大,检波后由仪表读出。 3、谐振调频电路 当X改变时,L也改变,谐振频率也改变,使振荡器振荡频率改变,将频通过频率记或F-V转换电路,测出频率,则f是x的函数。 电感式传感器主要用于测量微位移,凡是能转换成位移量变化的参数,如压力、力、压差、加速度、振动、应变、流量、厚度、液位等都可以用电感式传感器来进行测量 (a) 汽轮机主轴的轴向位移测量示意图 (b) 磨床换向阀、先导阀的位移测量示意图 (c) 金属试件的热膨胀系数测量示意图 (a)汽轮机和空气压缩机常用的监控主轴的径向振动的示意图 (b)测量发动机涡轮叶片的振幅的示意图 (c) 通常使用数个传感器探头并排地安置在轴附近 电涡流式厚度计的测量原理图
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