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新型高电阻率镍基合金箔材研制张军良，张小明，袁晓波，郑 欣，李中奎( 西北有色金属研 新型高电阻率镍基合金箔材研制 张军良，张小明，袁晓波，郑 欣，李中奎 ( 西北有色金属研究院, 陕西 西安, 710016) 摘 要：为满足电子器件制造的需要, 研制了 1 种电阻率≥1.5 μΩ·m, 厚 0.01 mm, 厚度公差±0.001 mm 的 NiMoCrAlSiTi 镍基高电阻箔材。合金成分设计采用多元少量原则, 在提高电阻率的同时保持良好的加工塑性; 在中间热处理、箔材 轧制等环节采取有效措施保证了尺寸公差; 用扫描电镜( SEM) 和透射电镜( TEM) 对不同处理状态合金的显微组织、拉 伸断口和析出相进行了观察分析, 测试了不同状态合金的力学和电学性能, 根据其结果决定采用冷轧+时效的最终热 处理工艺, 此工艺条件下合金析出弥散分布的二相粒子, 对提高合金的电阻率有显著贡献, 同时合金亦具有良好的加 工性能。 关键词：镍基合金; 高电阻率; 合金元素; 显微组织; 加工热处理 文章编号：1008- 5939( 2006) 04- 020- 05 中图法分类号：TG146.1+5 文献标识码：A 1 前 言 2 实验方法 2.1 工艺简介 实验工艺路线为: 电子行业需要应用 1 种电阻率≥1.5 μΩ·m, 厚 合金成分设计→真空感应熔 度 0.01 mm 的高电阻率镍基合金箔材, 但目前国内 炼→热挤压→热轧→温轧→中间热处理→冷轧→箔 材轧制→成品热处理。 合金成分设计的主要目的是通过合金化提高材 料的电阻率, 同时考虑材料应具有良好的加工性能, 可满足热加工及冷加工大塑性变形的要求。 采用真空感应熔炼可以获得杂质含量低, 气孔、 夹杂等缺陷少的优质铸锭。 通过挤压、热轧进行大变形量加工, 可改善材料 组织状态, 提高材料塑性。 通过温轧、冷轧、中间热处理, 可获得所需尺寸 公差的箔材。 成品热处理的目的在于提高材料的电阻率热稳 可资应 用 的 6J20 合 金 电 阻 率 只 有 1.1 μΩ·m, 6J23 合金电阻率为 1.3 μΩ·m, 都不能满足使用要求, 因 此, 迫切需要研制 1 种新的高电阻率镍基合金。 镍基电阻合金的研究已有多年的历史, 国外研 究较为广泛和深入。美国的镍基电阻合金牌号有几 十种 但最大电阻率与我国的相近, 没有电阻 [1, 2], 率≥1.5 μΩ·m 的合金; 俄罗斯同类产品牌号也很多, 其中的 NiMoAlVGe 合金电阻率最大, 达到 1.5 μΩ·m, 但这 种 合 金 只 适 宜 于 拉 制 丝 材 , 不 适 宜 于 轧 制 箔 材 [ 3 ~ 5 ] 。 为此, 作者研制了 1 种适合于轧制箔材的新 型 NiMoCrAlSiTi 电 阻 合 金 。 该 合 金 箔 材 电 阻 率 达 1.72 μΩ·m, 超过制造某电子器件的要求。 收稿日期：2006- 03- 05 作者简介：张军良, 男, 1955 年生, 高级工程师, 西北有色金属研究院难熔金属研究所, 电话: 029-陕西 西安 710016, 稀有金属快报2006 年 25 卷第 4 期21定性。2.2 合金元素选择要提高材料的电阻率,能较差。本研究综合了美、俄两国电阻 稀有金属快报 2006 年 25 卷第 4 期 21 定性。 2.2 合金元素选择 要提高材料的电阻率, 能较差。本研究综合了美、俄两国电阻合金添加元素 的种类及效果, 使各元素加入量适当减少, 元数有所 增加但保持总量不增加或略有增加, 提高的同时加工性能不下降。 力图使电阻率 亦即改变材料的物理性 质, 最有效的方法是改变合金元素的组成, 但同时要 满足对可焊性、相容性和加工性的要求, 为此, 对合 金元素进行实验性优化选择。能提高镍基合金电阻 率 的 添 加 元 素 有 Cr, Mo, W, Ti, Zr, Al, Si, Mn, Co, B 等[6], 图 1 给出了 10 种 NiM 二元合金的电阻率与添 加元素含量的关系曲线, M 代表添加元素。 表 1 新型高电阻率 N i基合金的成分 Table 1 C om position ofnew -style N i-based alloy w ith high resistivity 元素 Ni Mo Cr Al Si Ti 含量, w% 余 15~20 10~12 3~4 0.5~1 0.5~1.5 2.3 箔材厚度公差控制 由于使用场合的特殊性及电阻一致性的要求, 对 材料的厚度公差要求十分严格, 即 0.01±0.001 mm。 为了达到这一指标, 必须弄清影响尺寸公差的主要 因素, 采取相应措施。 2.3.1