静电防治知识讲座.pptVIP

工作表面的量測 ESD S4.1-1997 主要目的:使用標準的量測設備,量測靜電放電防護工作表面之表面電阻值以評估其特性. 其他相關標準 ASTM F150 NFPA 99 測試設備 可提供100V和10V測試電壓,誤差在10%以內的高電阻計,量測範圍由10KΩ –100GΩ 2只5lb直徑2-1/2“的測試電極 Rogher.Shen 工作表面的量測 測試時機 1. 環境和材料評估測試 2. 新配置的設備驗收 3. 定期的測試 環境和材料評估測試-低濕度測試 濕度12%± 3%R.H.:溫度23± 1℃ ;預先放置時間48-72小時 測試電壓為10V/100V 表面必須用70%的IPA清洗 測試結果必須記錄最大,最小值 測試樣品大小:10“X24” 6個,樣品本身必須有二個接地點 測試點:Resistance to ground and resistance top-tp-top Rogher.Shen 工作表面的量測 環境和材料評估測試-低濕度測試 濕度50%± 5%R.H.:溫度23± 1℃ ;預先放置時間48-72小時 測試電壓為100V 表面必須用70%的IPA清洗 測試結果必須記錄最大,最小值 測試樣品大小:10“X24” 6個,樣品本身必須有二個接地點 測試點:Resistance to ground and resistance top-tp-top Rogher.Shen 工作表面的量測 先將工作表面以70%的IPA清洗並風乾15分鐘後,方始進行量測 Resistance to Groundable Point(s) 測試電壓為100V,測試結果必須記錄最大最小值 測試點分別為ABCDE五點 --A.距離Groundable point(s)3”位置 --B,C,D:距離每個角落2“位置 --E:中心點 Resistance Point-to-Point 測試電壓為100V 測試點如下 --A:水平距離10“位置 --B:垂直距離10“位置 --C:左斜對角線各角落距離為2“ --D:右斜對角線各角落距離為2“ Rogher.Shen 工作表面的量測 定期檢查 不要清洗工作表面,且移開所有ESDS元作 以新配置驗收方法來量測Resistance to Groundable Point(s)以及Resistance Point-to-Point 若測試不合格時,清洗後再重新測試 建議允收標準 Resistance to Groundable Point(s):between 1x106Ω and 1x109Ω Resistance Point-to-Point ≧ 1MΩ Rogher.Shen 地面材料電阻特性測試 ANSI ESD S7.1-1994 測試目的:量測地面材料的電阻特性(其量測結果為電阻值,而非電阻率) 靜電防護地板須配合靜電防護鞋,鞋環,輪子及裝載器具使用 相關測試標準 NFPA-99;ASTM-F150;DIN 51953 測試種類 環境和材料評估測試 新舖設完成的驗收 Rogher.Shen 地面材料評估測試 測試條件 樣品數:12“X24” 5片,放置時間至少72小時 清洗表面:使用70%IPA清洗待測表面 測試電壓為:100V 濕度:12%(± 3%)和50%(± 5%)R.H. 溫度:23 ± 1 ℃ 測試設備 可提供100V和10V誤差在10%以內的高電阻計,量測範圍可由10KΩ -100GΩ及2只重量5lb.直徑的2.5“的電極. 電極表面為導電橡膠,其在金屬表面上的電阻必須小於1kΩ(at 10V DC) 測試結果必須記錄最大,最小值 Rogher.Shen 鋪設配置完成的驗收 測試前使用70%IPA清洗電極並風乾 Resistance to Groundable Point每5000sq.ft(464.5m2)必須測試五點 Resistance Point-to-Point每5000Sq.ft必須測試五區,每區測試點間的距離應至少為36“(約120CM) Rogher.Shen 表面電阻(率)測試 測試目的:量測一個ESDS包裝材料的表面電阻率,來評估其靜電防護的特性. 相關測試規範 ASTM D-257(專為量測絕緣表面所設計的標準) ANSI ESD S11.11-1993(專為靜電消散表面所設計的標準) Rogher.Shen ESD S11.11表面電阻(率)測試 使用500K,1TΩ Test fixture檢查並評估穩定時間 測試樣品:6片,3“x5”(76x127 mm)雙面皆須測試 高電阻1MΩ –10 TΩ之樣品,測試電壓為100V 低電阻1KΩ – 1MΩ之樣品,測試電壓為10V 測試時間為1TΩ檢查5次之穩定時間平均值