射频系统中MEMS谐振器和滤波器-光学精密工程.pdf

第 12 卷 　第 1 期 光学 精密工程 Vol . 12 　No . 1 2004 年 2 月 　　 Optics and Precision Engineering 　　J an . 2004 文章编号 　1004924X (2004) 射频系统中MEMS 谐振器和滤波器 李应良, 潘 　武 (重庆邮电学院 微光机电系统研究所 , 重庆 400065) 摘要 : 介绍了目前国内外射频系统中所涉及的静电梳状谐振器 、自由梁谐振器 、薄膜声体波谐振器 、腔结构谐振器 、平 行谐振器结构 HF 带通滤波器 、折叠梁MF 滤波器 、分布传输线可调滤波器等MEMS 谐振 、滤波器件 。对这些器件的结构 原理 、制造方法以及性能指标作了分析 。把这些器件的性能指标和 目前射频系统中谐振器 、滤波器的性能要求进行比 较 , 分析了这些器件的应用前景 。最后 , 对基于MEMS 技术的射频谐振器 、滤波器发展作出展望 。 关 　键 　词 : 微电机械系统 ; 射频系统 ; 谐振器 ; 滤波器 中图分类号 : TN713 　　文献标识码 : A MEMS resonators and filters in RF systems L I Yingliang , PAN Wu ( Institute of MOEMS , Chongqing University of Posts and Telecommunications , Chongqing 400065 , China) Abstract : The development of MEMS resonators and filters of RF systems including capacitivecomb transduced micro mechanical resonator , freefree beam micromechanical resonator , FBAR resonator , cavity resonator , HF microme chanical bandpass filter , MF micromechanical filter , and transmission lines for tunable filter , both at home and abroad is reviewed , and the structures , performance and fabrications of these components are analyzed. The applica tions of these components are forecast from the performance requirements for current RF systems , and the development trend of MEMS resonators and filters is discussed as well . Key words : MEMS ; RF systems ; resonator ; filter 1 cm , 甚至仅为几个μ m , 其厚度更薄。硅类材料是 1 　引　言 MEMS 制造的主要材料之一 , 其电气性能优良, 强