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第 卷 第 期 ，
５１ ２ 大 连 理 工 大 学 学 报 Ｖｏｌ．５１ Ｎｏ．２
年 月
２０１１ ３ Ｍａｒ． ２ ０ １ １
ＪｏｕｒｎａｌｏｆＤａｌｉａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔ ｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏ
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文章编号 ： （ ）
１０００８６０８２０１１０２０２１００５
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柔 性 衬 底 上 铝 背 电 极 制 备 及 相 关 特 性 研 究
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１２ ＊１２ ３ １２ １２ １２
岳 红 云 ， 吴 爱 民 ， 冯 煜 东 ， 胡 娟 ， 张 学 宇 ， 李 廷 举
（ ， ；
大连理工大学 材料 科 学与工程 学 院 辽宁 大连
１． １１６０２４
， ；
大连理工大学 三束材料 改性教育 部 重点实验室 辽宁 大连
２． １１６０２４
， ）
中国空 间技术研究院 兰 州 物理 所 甘肃 兰 州
３． ７３００００
摘要 ：
采用 射频磁控 溅 射 技 术 在 聚 酰 亚 胺 柔 性 衬 底 上 制 备 硅 基 薄膜 太 阳 能 电池 用 铝 背 电
，
极 研究 了不同溅 射 功 率和工 作 气压 条 件 对 铝 电极 薄膜 性 能 的影响 利 用 原 子 力 显 微 镜 分 析
．
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