梯度掺杂结构GaN光电阴极的稳定性-中国光学.pdf

第１１卷　第４期 　　　　 　　中国光学　　　　　　　 Ｖｏｌ．１１　Ｎｏ．４ 　 　　 　　　　　　　 ２０１８年８月　 　 　 Ａｕｇ．２０１８ ＣｈｉｎｅｓｅＯｐｔｉｃｓ 文章编号　２０９５１５３１（２０１８）０４０６７７０７ 梯度掺杂结构 ＧａＮ光电阴极的稳定性 １ ２ ３ 李　飙 ，任　艺 ，常本康 （１．商丘师范学院 电子电气工程学院，河南 商丘４７６０００； ２．商丘职业技术学院机电系，河南 商丘４７６０００； ３．南京理工大学 电子工程与光电技术学院，江苏 南京２１００９４） 摘要：利用ＧａＮ光电阴极多信息量测试评估系统，对反射式梯度掺杂和均匀掺杂ＧａＮ光电阴极样品进行了激活及衰减 后的量子效率测试，并测试衰减速率。在同样的衰减时间内，和均匀掺杂样品相比，梯度掺杂样品的衰减比例较小，衰减 速率较慢，其原因在于梯度掺杂结构可在其发射层内部产生系列内建电场，致使其能带连续向下弯曲，导致其表面真空 能级比均匀掺杂样品下降得更低，发射层表面形成的负电子亲和势更明显，造成发射层内的光生电子更易逸出，阴极量 子效率的衰减变慢，从而使其稳定性强于均匀掺杂结构。 关　键　词：氮化镓；光电阴极；梯度掺杂；内建电场；稳定性 中图分类号：Ｏ４３３；ＴＮ２０３　　文献标识码：Ａ　　ｄｏｉ：１０．３７８８／ＣＯ０６７７ ＳｔａｂｉｌｉｔｙｏｆｇｒａｄｉｅｎｔｄｏｐｉｎｇＧａＮｐｈｏｔｏｃａｔｈｏｄｅ １ ２ ３ ＬＩＢｉａｏ ，ＲＥＮＹｉ，ＣＨＡＮＧＢｅｎｋａｎｇ （１．ＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃａｎｄＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｈａｎｇｑｉｕＮｏｒｍａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｓｈａｎｇｑｉｕ４７６０００，Ｃｈｉｎａ； ２．ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＥｌｅｃｔｒｉｃａｌａｎｄＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｈａｎｇｑｉｕＰｏｌｙｔｅｃｈｎｉｃ，Ｓｈａｎｇｑｉｕ４７６０００，Ｃｈｉｎａ； ３．ＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇａｎｄＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， ＮａｎｊｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１００９４，Ｃｈｉｎａ） Ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇａｕｔｈｏｒ，Ｅｍａｉｌ：ｌｉｂｉａｏ２００６＠１２６．ｃｏｍ Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴｈｅＧａＮｐｈｏｔｏｃａｔｈｏｄｅｍｕｌｔｉｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔａｎｄｅｖａｌｕａｔｉｏｎｓｙｓｔｅｍｉｓｕｓｅｄｔｏｔｅｓｔｔｈｅ ｑｕａｎｔｕｍｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙｏｆｔｈｅｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅｇｒａｄｉｅｎｔｄｏｐｅｄａｎｄｕｎｉｆｏｒｍｌｙｄｏｐｅｄＧａＮｐｈｏｔｏｃａｔｈｏｄｅｓａｍｐｌｅｓａｆｔｅｒａｃｔｉ ｖａｔｉｏｎａｎｄａｔｔｅｎｕａｔｉｏｎ，ａｎｄｔｈｅａｔｔｅｎｕａｔｉｏｎｒａｔｅｔｅｓｔｉｓｐｅｒｆｏｒｍｅｄ．Ｔｈｅｇｒａｄｉｅｎｔｄｏｐｅｄｓａｍｐｌｅｈａｓａｓｍａｌｌｅｒａｔ ｔｅｎｕａｔｉｏｎｒａｔｉｏａｎｄａｓｌｏｗｅｒｄｅｃａｙｒａｔｅｔｈａｎｔｈｅｕｎｉｆｏｒｍｄｏｐｅｄｓａｍｐｌｅｗｉｔｈｉｎｔｈｅｓａｍｅｄｅｃａｙｔｉｍｅｂｅｃａｕｓｅｔｈｅ ｇｒａｄｉｅｎｔｄｏｐｅｄｓｔｒｕｃｔｕｒｅｃａｎｇｅｎｅｒａｔｅａｓｅｒｉｅｓｏｆｂｕｉｌｔｉｎｅｌｅｃｔｒｉｃｆｉｅ