第四章(34电容式、电感式传感器).pptVIP

liby@dlpu.edu.cn 4.3电容式检测元件 4.3.1概述 电容式检测元件用于机械量位移、振动、角 位移、加速度和压力、物位、差压等测量。 结构简单；容抗高，损耗小、自身发热小；因 为电容式传感器具有较小的可动质量，动片的固有 频率高，所以其动态特性好；工作适应性强，可进 行非接触式测量；可获得较大的相对变化量，电阻 应变片的相对变化量小于1%，而电容可达到100 % 或更大，但电容起始值较小，负载能力差，易产生 寄生电容和干扰，必须采取良好屏蔽和绝缘。 4.3.2 电容式检测元件工作原理 1.工作原理 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板 电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为： 被测量变化使式中的S、d或ε发生变 化时，电容量C也随之变化，通过测量电 路进一步转换为电压/电流/频率等电信号。 2.分类： 按被测量所改变 电容器的参数分变 极距式、变面积式、 变介质常数式三种； 按电容器极板形状 分为平板和圆通形P65。 4.3.3 电容元件的结构和特性 1、变极距式电容器 图示为变极距型电容式 传感器的原理图。当传感 器的εr和S为常数，初始 极距为d0时，其初始电容 量C0为： 若电容器极板 间距离由初始值d0 缩小了Δd，电容 量增大了ΔC，则有： 式中若Δd/d01，1-(Δd/d0)2≈1，则近似 为： 此时C与Δd近似呈线性关系， 所以变极距型电容式传感器只有在Δd/d0很小 时，才有近似的线性关系。另外可以看出，在d0较 小时，同样的Δd变化所引起的ΔC可以增大，从而 使传感器灵敏度提高。但d0过小，容易引起电容器 击穿或短路。为此，极板间可 采用高介电常数的材料（云母、 塑料膜等）作介质, 如图示， 此时电容变为： εg云母相对 介电常数；d0空气隙厚度；dg云母片厚度。 一般变极板间距离电容式传感器起始电容在 20∽100pF之间， 极板间距离在25∽200μm 的范围 内。最大位移应小于间距的1/10，故在微位移测量 中应用最广。 在实际应用中，为了改善 非线性，提高灵敏度和减少外 界因素（如电源电压、环境温 度等）的影响，电容传感器常 做成差动形式。P66 设动 极板上移 △d，则有： 差动传感器的输出电容： 由此可见，差动式电容传感器灵敏度可提高 一倍。 2、 变面积式电容器 变面积型电容传感器原理结构如下图。被测量通 过动极板移动引起两极板有效覆盖面积A改变，从 而得到电容量的变化。当动极板相对于定极板沿长 度方向平移Δl时，则电容变化量为： [例题1]当差动式变极距型电容传感器动极板相对定 极板移动了△d=0.75mm时，若初始电容量C1=C2=80pF， 初始距离d0=4mm，试计算其非线性误差。若改为单平板 电容，初始值不变，其非线性误差为多大？ 解：对于当差动式变极距型电容传感器，使用时两 电容并联，总输出为： 忽略非线性项后， 其输出的线性表达式为： 忽略高阶非线性项后， 其输出的线性表达式为： 所以非线性 误差为： 4、等效电路 等效电路如图，图中考虑了电 容器的损耗和电感效应，Rp为并联 损耗电阻，代表极板间的泄漏电阻 和介质损耗。这些损耗在低频时影 响较大，随着工作频率增高，容抗减小，其影响就减弱。Rs代表串联损耗，代表引线电阻、电容器支架和极板电阻的损耗。电感L由电容器本身的电感和外部引线电感组成。 由等效电路可知，它有一个谐振频率，通常为几十兆赫。当工作频率等于或接近谐振频率时，谐振频率破坏了电容的正常作用。工作频率应该选择低于谐振频率，否则电容传感器不能正常工作。 传感元件的等效电容Ce可由下式求得 (为了 计算方便，忽略Rs和Rp) (P69 ): 电容的实际相对变化量为： 上式表明电容式传感器的 实际相对变化量与传感器的固 有电感L和角频率ω有关。因此，在实际应用时 必须与标定的条件相同。 4.3.4 电容传感器测量电路P69 将电容量转换成电压或频率的电路称为电容传 感器的测量电路。较常用的有运算放大电路、交流 电桥电路、脉宽调宽电路、二极管环形电桥和调频 电路等。 1、比例运算电路 2、交流电桥电路P70 3、差动脉宽调制电路 工作原理： （1）Q=1时，向R1C1充电，A1的反向输入 端电位上升；在Q=1、 期间电容C2通过VD2 迅速放电，A2反向输入端为低电平。 （2）当