第六章光纤传感检测技术.ppt

1 光纤的发展与动态 ●1966年高昆博士提出光纤传输的理论 ●1969年日本平板玻璃公司制出200dB/Km梯度光纤 ● 1970年美国康宁公司制出世界第一根20dB/Km低损耗光纤 ● 1972年日本电子技术综合研究所制出7dB/Km SiO2芯光纤 ● 1973年美国贝尔实验室用化学沉积法（CVD）制光纤 ● 1978年对1.5μm光传输接通理论值约0.2dB/Km ● 1980年光通讯产业形成 2 光纤传感器的发展与动态 70年代末，美国最先发表FOS文章 1981年美国召开光纤陀螺会议 1981年英国第一届国际FOS会议 1984年西德第二届FOS会议 1986年美国第三届FOS会议 1988年日本第四届FOS会议 1989年美国第五届FOS会议 2000年意大利第十四届FOS会议 光纤模式及其对光信号传输的影响 光纤传感器与电类传感器对比 其工作原理如下图：由于光纤有一定的数值孔径，当光纤探头端部紧贴被测件时，发射光纤中的光不能反射到接收光纤中去，接收光纤中无光信号；当被测表面逐渐远离光纤探头时，发射光纤照亮被测表面的面积越来越大，于是相应的发射光锥和接收光锥重合面积B1越来越大，因而接收光纤端面上被照亮的B2区也越来越大，有一个线性增长的输出信号。 当整个接收光纤被全部照亮时，输出信号达到了位移-输出信号曲线上的“光峰点”，光峰点以前的这段曲线叫前坡区；当被测表面继续远离时，由于被反射光照亮的B2面积达到极值，逐渐有部分反射光不能反射进接收光纤，还由于接收光纤更加远离被测表面，接收到的光强逐渐减小，光敏输出器的输出信号逐渐减弱,进入曲线的后坡区，如下图所示。 ? 在位移-输出曲线的前坡区,输出信号的强度增加得非常快,这一区域可以用来进行微米级的位移测量。在后坡区,信号的减弱约与探头和被测表面之间的距离平方成反比,可用于距离较远而灵敏度、线性度和精度要求不高的测量。在光峰区,信号达到最大值,其大小取决于被测表面的状态。所以这个区域可用于对表面状态进行光学测量。 所使用光纤束的特性是影响这种类型光纤传感器的灵敏度的主要因素之一。这些特性包括光纤的数量、尺寸和分布，以及每根光纤的数值孔径。而光纤探头端部的发射光纤和接收光纤的分布状况对探头测量范围和灵敏度的大小有较大影响。一般在光纤探头的端部，发射光纤与接收光纤有以下四种分布： (a)随机分布； (b)半球形对开分布； (c)共轴内发射分布； (d)共轴外发射分布。如下图所示。 光纤位移传感器的一个典型例子是：发射、接收各300根光纤组成一根0.762mm的光缆。 光纤内芯是折射率为1.62的火石玻璃，包层是折射率为1.52的玻璃。光缆的后部被分成两支，一支用于发射光，一支用于接收光。光源是2.5V的白炽灯泡，而接收光信号的敏感元件是光电池。光敏检测器输出与接收到的光强成正比的电信号。对于每0.25μm位移产生1V的电压输出，分辨率是0.025μm。 光纤传感器位移-输出信号曲线的形状取决于光纤探头的结构特性，但是输出信号的绝对值却是被测表面反射率的函数。 为了使传感器的位移灵敏度与被测表面反射率无关，可以采取“归一化”过程。即将光纤探头调整到位移-输出曲线的光峰位置上，调整输入光，使输出信号达到满量程，这样就可对被测表面的颜色、灰度进行补偿。“归一化”后，就可将探头移到前坡区或后坡区进行测量。 改进型的膜片反射式光纤压力传感器的结构如图(a),这里采用了特殊结构的光纤束，光纤束的一端分成三束,其中一束为输入光纤,两束为输出光纤。三束光纤在另一端结合成一束,并且在端面成同心环排列分布,如图(b)。其中最里面一圈为输出光纤束1,中间一圈为输入光纤束,外面一圈为输出光纤束2。当压差为零时，膜片不变形,反射到两束输出光纤的光强相等,即I1＝I2。当膜片受压变形后,使得处于里面一圈的光纤束,接收到的反射光强减小,而处于外面一圈的光纤束2接到的反射光强增大，形成差动输出。 P I2 I1 I0 p0 P=0 P0 I1 I0 I2 I1 I0 I2 I1 I0 I2 4 2(外圈) 1 (内圈) 3 (输入) (a) 传感器结构 (b) 探头截面结构 (c) 测量原理 两束输出光的光强之比 A——与膜片尺寸、材料及输入光纤束数值孔径等有关的常数； p——待测量压力。 可见，输出光强比I2／Il与膜片的反射率、光源强度等因素均无关，因而可有效地消除这些因素的影响。 （2）光弹性式光纤压力传感器 晶体在受压后其折射率发生变化，呈现双折射的现象称为光弹性效应。利用光弹性效应测