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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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直流磁控溅射一步法原位制备!#$ 超导薄膜!
马平 刘乐园 张升原 王昕 谢飞翔 邓 鹏 聂瑞娟 王守证 戴远东 王福仁
（人工微结构和介观物理国家重点实验室，北京大学物理系，北京 !#$!）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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用’() 靶，控制直流磁控溅射工作在异常辉光放电或弧光放电状态，在 *+,-. 衬底上原位一次性得到了
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超导薄膜，其起始转变温度为 ，零电阻温度为
’() /%0 !10 2
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关键词：高温超导体，超导薄膜，磁控溅射，二硼化镁
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激光蒸镀的方法来制备薄膜的，而且都需要经过异
位或原位在高温和富 的气氛中进行后处理后，
! 引 言 ’(
才能得到具有零电阻 ! 的’() 薄膜2
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具有较高性价比的二元金属间化合物’() 材 由于二次处理对环境气氛要求较严格，使得薄
%
［，］
料的超导电性! % 被发现后，立即受到了研究者们的 膜的制备显得相当不容易2 另外，激光蒸镀时，由于
［，］
/ 3 喷溅效应，膜表面都会有较多的大尺寸颗粒而变得
广泛重视 先后研究了它的各种超导特性 ，从确
2
［］
定其为空穴型超导体1 、用 的同位素效应验证其 粗糙，对于制作器件等应用也不利2
)
［］
6 从应用需要的角度来说，像制备:;=?;@ 结和
超导机制也是在
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